IGS气路系统
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 北京华丞电子有限公司
- 品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/7/31 17:02:01
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创新点
在设备工艺管路中实现对流体的多种控制,包括输送、混合、过滤、分流、流量控制等。
为设备工艺管路中的多种特气的运行提供安全保障
使用高纯器件,在可控环境中为腔室及真空管路提供超净环境。
应用领域
半导体照明
半导体—集成电路
技术指标
型号 | 标 准 |
零部件入库检查 | 形状与尺寸与图纸一致,实物型号与部件表的型号一直 |
安装标准 | 各阀门仪表流向、安装位置与图纸要求一致,管道平整 |
保压 | 12小时压降≤1% |
漏率 | ≤1×10-10 Pa·m³/S |
颗粒度 | 连续3次测试,0.1um以下的颗粒数≤3个 |
水分 | ≤10ppb |
氧分 | ≤10ppb |
焊接标准 | 无明显焊疤,焊接部位表面无伤痕、脏污、烧痕去除 |
焊道偏离范围小于壁厚 20%以内、焊道匀直、无明显外凸内凹及错位现象 | |
外观标准 | 外观整洁,各部位无明显磕伤 |
元器件标签、接口方式等与图纸一致 | |
目视检查气柜内部有无腐蚀、雾化或变色等信息 |