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IGS气路系统

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北京华丞电子有限公司(以下简称“华丞电子”)是由北京七星华创流量计有限公司、北京七星华创集成电路装备有限公司及北方华创微电子装备有限公司射频业务单元整合而成的工业领域核心零部件及解决方案科技企业,华丞电子立足于集成电路、新能源等工业领域的科技前沿,集聚了多项先进零部件技术核心人才,致力于成为一家全面的工业零部件解决方案供应商。


 华丞电子传承了数十年在流量测控、射频技术和自动化设备等领域的专业优势,技术积和创新能力。产品迭代升级的同时,华丞电子依据客户新的产品需求不断探索研究,深挖技术,创新产品,拓宽产品线,形成了流量测控、压力测控、气路系统、射频电源、匹配器、磁流体密封装置、传输系统、自动化装备等系列产品,为半导体、光伏、燃料电池、真空镀膜等领域提供解决方案。华丞电子布局六大研发/生产基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。

  在新的征程上,北京华丞电子有限公司将携手所有合作伙伴,共同开创电子科技领域的新篇章,为构建智慧社会贡献我们的力量。

 

 

 

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气体质量流量计、数字气体流量计、氨气流量控制器、氧气流量计、质量流量控制器

创新点

在设备工艺管路中实现对流体的多种控制,包括输送、混合、过滤、分流、流量控制等。

为设备工艺管路中的多种特气的运行提供安全保障

使用高纯器件,在可控环境中为腔室及真空管路提供超净环境。

应用领域

半导体照明

半导体—集成电路

技术指标

型号 标  准
零部件入库检查 形状与尺寸与图纸一致,实物型号与部件表的型号一直
安装标准 各阀门仪表流向、安装位置与图纸要求一致,管道平整
保压 12小时压降≤1%
漏率 ≤1×10-10 Pa·m³/S
颗粒度 连续3次测试,0.1um以下的颗粒数≤3个
水分 ≤10ppb
氧分 ≤10ppb
焊接标准 无明显焊疤,焊接部位表面无伤痕、脏污、烧痕去除
焊道偏离范围小于壁厚 20%以内、焊道匀直、无明显外凸内凹及错位现象
外观标准 外观整洁,各部位无明显磕伤
元器件标签、接口方式等与图纸一致
目视检查气柜内部有无腐蚀、雾化或变色等信息

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