CS200 热式数字气体质量流量控制器
- 公司名称 北京华丞电子有限公司
- 品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/7/31 16:57:59
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北京华丞电子有限公司（以下简称“华丞电子”）是由北京七星华创流量计有限公司、北京七星华创集成电路装备有限公司及北方华创微电子装备有限公司射频业务单元整合而成的工业领域核心零部件及解决方案科技企业，华丞电子立足于集成电路、新能源等工业领域的科技前沿，集聚了多项先进零部件技术核心人才，致力于成为一家全面的工业零部件解决方案供应商。
华丞电子传承了数十年在流量测控、射频技术和自动化设备等领域的专业优势，技术积和创新能力。产品迭代升级的同时，华丞电子依据客户新的产品需求不断探索研究，深挖技术，创新产品，拓宽产品线，形成了流量测控、压力测控、气路系统、射频电源、匹配器、磁流体密封装置、传输系统、自动化装备等系列产品，为半导体、光伏、燃料电池、真空镀膜等领域提供解决方案。华丞电子布局六大研发/生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
在新的征程上，北京华丞电子有限公司将携手所有合作伙伴，共同开创电子科技领域的新篇章，为构建智慧社会贡献我们的力量。
气体质量流量计、数字气体流量计、氨气流量控制器、氧气流量计、质量流量控制器
创新点
VCP的阀控技术
恒功率传感器
数字传感器补偿技术
应用领域
半导体—集成电路
半导体照明
清洁能源—光伏
清洁能源—氢能燃料电池
特种工业—石油化工
特种工业—光纤
特种工业—真空镀膜
特种工业—热处理
生命科学—环境保护
生命科学—食品工业
生命科学—生物工程
生命科学—医疗健康
生命科学—分析仪器
科学研究—实验器材
技术指标
| 型号 | CS200 | ||||||
| 类号 | A | C | D | ||||
| 流量规格(N₂) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | |||||
| 准确度 | ±1.0%S.P.(≥35%F.S.); ±0.35%F.S.(<35%F.S.) | ||||||
| 线性 | ±0.5% F.S. | ||||||
| 重 复 精 度 | ±0.2% F.S. | ||||||
| 响 应 时 间 | ≤ 1 sec | ≤0.8 sec(SEMI E17-0600) | ≤1 sec | ||||
| 阀类型 | Normally Closed or Normally Open | N/A | Normally Closed or Normally Open | N/A | Normally Closed or Normally Open | N/A | |
| 工作压差范围 | (0.05~0.35)MPa(≤10SLM)
(0.1~0.35)MPa10SLM
(0.2~0.45)MPa30SLM | <0.02MPa | (0.05~0.35) MPa(≤10SLM)
(0.1~0.35) MPa(>10SLM) | <0.02MPa | (0.05~0.35)MPa(≤10SLM)
(0.1~0.35)MPa(>10SLM) | <0.02MPa | |
| 温 度 系 数 | Zero:≤±0.05%F.S./C;
Span:≤±0.1%F.S./℃ Flow≤30SLM
≤±0.2%F.S./℃ Flow>30SLM | Zero:≤±0.02% F.S./℃;
Span:≤±0.05%F.S./℃ | |||||
| 工作压力 | 0.45MPa | ||||||
| 耐压 | 3MPa | ||||||
| 漏率 | 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/sec He(1×10⁹atm· cc/sec He) | 1×10⁻¹¹ Pa·m³/sec He(1×10⁻¹⁰atm· cc/sec He) | |||||
| 密 封 材 料 | Viton | Metal | Metal | ||||
| 表面化学成分 | ———— | Cr/ Fe ratio>2.0; CrO thickness >20 Angstroms | ———— | ||||
| 表面粗糙度 | 25 μinch Ra | 10 uinch Ra | 25 μinch Ra | ||||
| 工作环境温度 | (5~45)℃ | (0~50)℃ | |||||
| 输 入 信 号 | Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus or EtherCAT;
Analog:(0~5)VDC
or(4~20)mA or(0~20)mA | N/A | Digital: RS485 or DeviceNet
or ProfiBusTK or EtherCAT ;
Analog:(0~5)VDC
or(4~20)mA or(0~20)mA | N/A | Digital: RS485 or DeviceNet"
or ProfiBus or EtherCAT;
Analog:(0~5)VDC
or(4~20)mA or(0~20)mA | N/A | |
| 输 出 信 号 | Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus or EtherCAT male; Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA or (0~20)mA | ||||||
| 电源 | ±8~±16 VDC or+14~+28 VDC or+20.4~+26.4 VDC (EtherCAT) | ||||||
| 电 气 连 接 | D sub 9 pin s male;D sub 15 pin s male; DeviceNet; ProfiBus or EtherCAT; Analog | ||||||
| 标准接头形式 | VCR1/4"M;VCO1/4"M;A-sael;
Compression Fittingφ10; Compression Fittingφ6;
Compression Fitting 3/8"; Compression Fittingl/4";
Compression Fittingl/8"; Compression Fittingφ3;
φ6(inner)×1hose;φ5(inner)×1.5hose;φ4(inner)×1hose | VCR1/4"M;
Compression Fittingφ6;
Compression Fittingφ3;
Compression Fittingl/4";
W-seal;C-seal | |||||
| 重量 | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
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