CY-RTP1000-Φ300-T 1200℃RTP退火炉
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌
- 型号 CY-RTP1000-Φ300-T
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/7/30 16:25:54
- 访问次数 10
联系方式:张经理13938563701 查看联系方式
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!
1200℃RTP退火炉是一款12寸片快速退火炉,采用革新的加热技术,可实现真正的基底温度测量,不需要采用传统快速退火炉的温度补偿,温度控制**,温度重复性高,客户包括国际上许多半导体公司及科研团队,是半导体制程退火工艺的理想选择。
技术特色:
• 真正的基片温度测量,无需传统的温度补偿
• 红外卤素管灯加热
• 极其优异的加热温度**性与均匀性
• 快速数字PID温度控制
• 不锈钢冷壁真空腔室
• 系统稳定性好
• 带触摸屏的PC控制
• 兼容常压和真空环境,真空度标准值为5×10-3Torr,采用二级分子泵真空度低至5×10-6Torr
• *高3路气体(MFC控制)
• 没有交叉污染,没有金属污染
技术参数:
产品名称 | 1200℃RTP退火炉 |
产品型号 | CY-RTP1000-Φ300-T |
基片尺寸 | 12英寸 |
基片基座 | 石英针(可选配SiC涂层石墨基座) |
温度范围 | 150-1200℃ |
加热速率 | 10-150℃/S |
温度均匀性 | ≤±1.5% (@800℃, Silicon wafer) ≤±1.0% (@800℃, Substrate on SiC coated graphite susceptor) |
温度控制精度 | ≤ ±3℃ |
温度重复性 | ≤ ±3℃ |
真空度 | 5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr |
气路供应 | 标准1路N2吹扫及冷却气路,由MFC控制(*多可选3路) |
退火持续时间 | ≥10min@1200℃ |
温度控制 | 快速数字PID控制 |
尺 寸 | 890mm*950mm*1400mm |