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SOPHI-400 ULVAC 离子注入机

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

      上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户:华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院,中科合肥智慧农业协同创新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

产品概述:

      离子注入设备,又称为离子注入机,是半导体制造中的关键设备之一。它通过将可控数量的离子(如硼、磷、砷等)加速并注入到半导体材料(如硅片)的特定区域,以改变其电学性能,实现掺杂的目的。离子注入技术具有精确控制掺杂深度、浓度和横向分布的能力,是现代集成电路制造中一环。

离子注入设备主要由离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔等部分组成。离子源负责产生所需的离子,经过质量分析器筛选后,由加速管加速至几百千电子伏特的能量,最后通过扫描系统均匀地注入到硅片表面。工艺腔则提供了一个真空环境,确保离子注入过程的顺利进行。

设备用途:

离子注入设备在半导体制造领域具有广泛的用途,主要包括以下几个方面:

  1. 集成电路制造:在制造集成电路的过程中,离子注入技术用于形成晶体管的源极、漏极和沟道等关键区域,以及实现电路的隔离和互联。

  2. 金属材料表面改性:通过离子注入技术,可以在金属材料表面形成一层具有特殊性能的改性层,如提高耐磨性、耐腐蚀性和硬度等。

  3. 薄膜制备:离子注入技术还可以用于制备具有特定性能的薄膜材料,如超导薄膜、光学薄膜等。

设备特点

离子注入设备具有以下几个显著特点:

  1. 精确控制:离子注入技术可以精确控制掺杂离子的种类、数量、深度和横向分布,满足集成电路制造中对掺杂精度的要求。

  2. 低温处理:与传统的热扩散工艺相比,离子注入技术可以在较低的温度下进行,避免了高温处理对半导体材料性能的影响。

  3. 广泛应用:离子注入技术不仅应用于半导体制造领域,还扩展到金属材料表面改性、薄膜制备等多个领域。

技术参数和特点:

基板尺寸:Max200mm

大能量:2400 keV

枚叶式

可对应薄片Wafer

平行Beam



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