行业 | 光刻胶 | 品牌 | MIKASA |
---|---|---|---|
发货 | 上海 |
日本MIKASA株式会社/米卡萨中国现货代理
日本MIKASA株式会社/米卡萨中国现货代理
日本米卡萨MIKASA株式会社中国现货代理
日本MIKASA株式会社中国代理: MIKASA光刻机。旋转涂布机,真空泵日本MIKASA株式会社中国代理: MIKASA光刻机. 旋转涂布机,真空泵日本MIKASA株式会社中国代里: MIKASA光刻机.旋转涂布机,真空泵日本MIKASA株式会社中国代理: MIKASA光刻机.旋转涂布机,真空泵
半导体制造工序中的Mikasa半导体设备
为半导体制造工序提供支持的Mikasa
备齐光刻胶涂布、曝光、显影、蚀刻等半导体制造前段工序所需要的装置后,提供一站式服务。另外,为旋转涂膜仪的所有机型准备了替代用机,可在发生故障时尽早应对,且在销售后提供快捷周到的售后服务。针对研究过程中所发生的一系列问题,也可在现场提出解决建议。与客户共同探讨在哪个工序出现了问题、应如何改进等等,从而得出解决建议。Mikasa 作为一个可在半导体方面进行共同商谈的咨询顾问,不仅销售设备,而是为客户半导体制造的整体工艺流程
晶圆→洗涤(清除晶圆表面的脏污及各种金属离子)→成膜(在高温扩散炉中,形成表面氧化膜)→光刻胶涂布(将光刻胶(感光材料)涂抹到晶圆表面,形成厚度均一的薄膜)→曝光(将光掩膜与晶圆重合,复制电路图案)→显影(去除曝光部位(正胶)的光刻胶)→蚀刻(通过腐蚀氧化膜来蚀刻电路)
日本MIKASA旋转涂膜仪SpinCoater.光刻胶涂布/将光刻胶(感光材料)涂抹到晶园表面,形成厚度均一-的薄膜。旋转涂膜仪
滴液装置可选组件 吸盘
●MS-B100/ MS-B150●MS-B200●MS-B300●MS-B200 (密闭型)●MS-B300 (密闭型)
日本MIKASA光刻机
●MA-10●MA-20●MA-60F●M-2LF●M-1S
日本MIKASA曝光,将光掩膜与晶园重合,复制电路图案。
日本MIKASA显影、蚀刻装置DeveloperEtching
去除曝光部位(正胶)的光刻胶。
●AD-1200●AD-3000●PD-1000
日本MIKASA蚀刻装置蚀刻装置
●ED-1200●ED-3000
日本MIKASA旋转涂布机MS-150
MIKASA 旋转涂布机 MS-A150/MS-B150 现货
代理MIKASA旋转涂布机SpinCoater MS-B200
日本MIKASA旋转涂布机MS-A150/MS-B150 现货
为半导体制造工序提供支持的Mikasa
备齐光刻胶涂布、曝光、显影、蚀刻等半导体制造前段工序所需要的装置后,提供一站式服务。另外,为旋转涂膜仪的所有机型准备了替代用机,可在发生故障时尽早应对,且在销售后提供快捷周到的售后服务。针对研究过程中所发生的一系列问题,也可在现场提出解决建议。与客户共同探讨在哪个工序出现了问题、应如何改进等等,从而得出解决建议。Mikasa 作为一个可在半导体方面进行共同商谈的咨询顾问,不仅销售设备,而是为客户半导体制造的整体工艺流程给出支持。