T-BOX分阀箱 二级防漏箱半导体设备

T-BOX分阀箱是一种专为半导体设备设计的二级防漏箱。它在半导体生产过程中起到重要作用，用于分流、控制和保护介质的流动，并提供漏液报警和漏液收集功能。

以下是关于T-BOX分阀箱的一些信息：

　　1. 功能：T-BOX分阀箱具有以下主要功能：

　　- 分流控制：通过阀门控制介质的流动，将介质引导到相应的工艺设备或管道。

　　- 二级防漏：采用双层结构，当发生泄漏时，漏液会被收集并引导到漏液收集装置中，保护环境和设备。

　　- 漏液报警：配备漏液传感器，一旦检测到泄漏，可及时发出报警信号，提醒操作人员处理。

　　- 环境隔离：将危险或腐蚀性介质隔离，避免对周围环境和设备造成损害。

　　2. 特点：T-BOX分阀箱的特点包括：

　　- 高密封性：确保介质流动时不会泄漏。

　　- 耐腐蚀性：适用于处理酸、碱等腐蚀性介质。

　　- 安全性：提供漏液报警和收集功能，保护设备和操作人员安全。

　　- 可靠性：采用优质材料和精密加工制造，保证其稳定可靠的运行。

　　3. 应用：T-BOX分阀箱广泛应用于半导体设备中，特别适用于涉及腐蚀性介质、有泄漏风险或需要严格控制流动的工艺环节。例如，在湿法蚀刻、清洗、溅射等工艺中，使用T-BOX分阀箱可以实现对介质的精确控制和防漏保护。

　　总之，T-BOX分阀箱是一种针对半导体设备设计的二级防漏箱，具有分流控制、防漏保护和漏液报警等功能，能够有效满足半导体生产工艺对介质控制和安全性的要求。欢迎大家咨询合作：181--5089-3110