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VPS-RF60 中型真空等离子清洗机

具体成交价以合同协议为准

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我们注于等离子(PLASMA)清洗工艺技术和相关装备的研发生产,核心技术源自欧美二十年等离子体行业经验。公司核心团队来自中科院等离子体物理研究所、德国Diener、中国科学技术大学、北京大学等国内科研机构,其开发的等离子清洗装备已广泛应用于高校、半导体、汽车、电子行业、3C行业、印刷行业生物等行业域。深光达科技成立至已为清华大学、西安交通大学、比亚迪、兰州大学、深圳大学、香港大学、提供过等离子处理设备和解决方案, 我们将不断为材料表面处理开发创新方案,致力于为用户提供等离子表面处理与检测整体解决方案。深圳深光达科技有限公司深耕等离子技术域十余载,表面处理解决方案服务商。公司自主研发的真空、大气常压及微波等离子清洗设备,精准清洗与活化,设备连续运行稳定性达99.6%以上,通过ISO 9001/14001双体系认证。其低温真空等离子去胶机**在半导体封装环节实现每小时300片晶圆的量产处理,刻蚀均匀性误差<3%,助力客户良品率提升20%+。针对汽车内饰、医疗导管等复杂曲面,**常压旋转喷枪系统**可完成360°处理,表面张力值稳定提升至72mN/m以上。现已在富士康、比亚迪等200+企业产线中实现7×24小时不间断作业,设备MTBF突破8000小时,以航空品质重新定义工业清洗标准。主营产品有等离子清洗机,等离子去胶机,实验型真空等离子清洗机,真空等离子清洗机,低温等离子清洗机,大气等离子清洗机,等离子表面处理机,等离子刻蚀机,晶圆清洗机,反应离子刻蚀机,旋转型真空等离子处理仪,真空等离子清洗仪

 

 

等离子清洗机,等离子清洗器,实验型真空等离子清洗机,真空等离子清洗机,低温等离子清洗机,大气等离子清洗机,等离子表面处理机,等离子刻蚀机,晶圆清洗机,旋转型真空等离子处理仪,真空等离子清洗仪

产地类别 国产 应用领域 综合

VPS-RF60 中型真空等离子清洗机简介:

VPS-RF60是一款中型真空等离子清洗机,通过PLC提供稳定的过程控制,设备运行的实时参数通过触摸显示屏直观呈现,软件控制系统,操作简单,能接控制设备及设定各种清洗工艺曲线,并根据工艺不同进行设定、修改、存储、调用;软件自带分析功能,能对工艺曲线进行分析。软件控制系统自动的实时记录清洗工艺参数及温度曲线、时间、报警相关数据,保证产品清洗工艺的可追溯性。13.56MHz射频电源与自动匹配系统,具有优异的稳定性与可重复性,多样化可选气体配置,灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案满足不同类型产品的清洗工艺要求。


   

VPS-RF60 中型真空等离子清洗机


VPS-RF60 中型真空等离子清洗机特点:欧美放电技术,专业型放电结构,科学仿真等离子体分布均匀,处理效果均匀


产品应用:去除表面有机物、表面油污清洗、提高表面亲水性、改善表面粘接性、提高表面附着力、提高绑定性能


产品参数:

型号

VPS-RF60

等离子频率

13.56MHz 自动阻抗匹配

工作真空度

10-100Pa

功率

0-600W连续可调

腔体材质

进口级316L不锈钢/航空铝合金(可选)

腔体尺寸

400(W)*450(D)*380(H)mm

腔体容积

69L

单层有效处理面积

W365mm x D375mm

气路数量

2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等(腐蚀性气体需定制)

处理层数

6层(可定制)

控制方式

PLC+触摸屏

真空泵

油泵/干泵(可选)

电源

AC380V,50/60Hz

外形尺寸

900mm(L)×1100mm(W) ×1800mm(H)




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