3030 KOFLOC科赋乐 小型比例电磁阀控制器

KOFLOC科赋乐 小型比例电磁阀控制器

KOFLOC科赋乐 小型比例电磁阀控制器

它具有出色的分辨率，可用于精密压力控制等。

超小型、重量轻、用于单电源的高性能比例阀

低功耗（Max.2W）

采用磁性材料热处理和特殊设计的扁平弹簧，杜绝了柱塞芯移动和摩擦振动引起的电流波动。

磁轭没有采用弯曲加工而是在磨削加工后，采用热处理以消除磁通量的通过阻碍并增大了磁力

最小滞后在15％以内

符合RoHS标准

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封