V76系列 PRECESS普瑞赛思大型传输插入阀

PRECESS普瑞赛思大型传输插入阀（V76系列）

V76带T-Motion的大型传输阀/插入件是为满足太阳能和显示器生产系统的特殊要求而开发的。V76专为高循环生产系统而开发，在大型传输阀（≤2秒，150 mm开口高度）。V76的设计目标是在超过一百万次循环的生命周期内实现高正常运行时间和可靠运行。

V76使用的T-Motion技术基于模块化平台概念，并针对关键的太阳能和显示应用进行了全面优化：

lPECVD/ETCH：对于这些应用，V76版本的阀门上提供了一种特殊的服务功能，允许在真空下传输室保持生产模式的同时，保持工艺室的闸门。这一特性尤为重要，因为在PECVD和ETCH工艺中，需要频繁清洁和更换闸门密封。软移动、双作用T型运动机构沿整个密封表面提供均匀的密封压力，减少所需的密封载荷，最大限度地减少密封磨损。这降低了阀门寿命期间的FFKM密封成本。

lOLED/PVD和负载锁：使用V76的修改版本，使用更大的压力元件，可以施加全压差。该版本提供OLED的“超清洁”配置，并为PVD和负载锁定应用提供高速选项。

V76系列有带外壳的标准传输阀或直接安装在工艺室中的插入式版本。

V76系列已经在各种工艺条件下安装在数百个太阳能和显示器生产系统中，证明了其在各个方面的出色性能。

与所有PRECESS输送阀解决方案一样，V76大型输送阀/带T-Motion的插入件是根据客户的确切规格量身定制的。这些定制可能包括额外的过程控制单元、特殊的表面处理，如硬质阳极氧化铝或镀镍铝、其他密封材料、检测阀体压力的真空计、波纹管保护的轴馈通、阀门和闸门的射频和直流接地选项、执行器的横向安装位置等。

特征

l半标准应用（半E21-9半E24-92半E21.1-1296）

l通过使用获得认证的L形运动连杆和执行器中没有弹簧的双换档，显著减少了振动，实现了更快、更平稳的执行

l机械锁处于关闭位置

优点

l焊接波纹管执行器密封

l阀盖法兰螺栓设计有固定器，以防止拆卸时螺栓脱落

l气动执行器双作用

应用

l太阳能、FPD加工

l高运行速度下的低冲击

l位置3允许在对阀门进行维护工作时保持一个腔室处于真空状态

lLCD/平板加工

PRECESS普瑞赛思大型传输插入阀（V76系列）

技术参数