PLR3000 高灵敏度光纤激光尺

中图仪器PLR3000高灵敏度光纤激光尺是新一代高精度位置检测设备，基于激光干涉测量原理，专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。其突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输，支持单轴至多轴测量。相比传统钢带尺或玻璃光栅，光纤激光尺具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，具有安装快捷，易于准直等特点。

PLR3000高灵敏度光纤激光尺分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

功能特点

1、高分辨率数字正交信号输出，分辨率达10nm（可外部拓展）。 

2、高测量精度，线性测量精度达0.2~0.5ppm。

3、高稳频精度，可达0.02~0.05ppm。

4、测量范围大，最大量程可达4m（可拓展）。

5、激光发射装置与干涉探头分离，通过3m铠装光纤与电缆连接，可将激光尺主机远离被测量设备，便于安装，同时还可避免主机散热对测量通路的影响。

6、输出正交数字信号或1Vpp正余弦信号，可以适用于不同的控制器。

7、体积小巧，适合狭小空间安装，可最大限度降低阿贝误差。 

8、即可作为激光干涉仪进行测量，也可用于闭环位置反馈控制。

9、多通道输出，可轻松实现多轴同时测量及多自由度测量。

10、环境补偿功能，一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。

核心优势

1. 高精度  

（1）分辨率10nm（可拓展），线性测量精度0.2ppm，稳频精度0.02ppm，满足纳米级测量需求。  

（2）环境气象站实时补偿温度、湿度、气压对测量的影响，确保数据长期稳定。  

2. 灵活配置  

（1）支持单轴、双轴、三轴输出，轻松实现多自由度测量。  

（2）可选差分干涉仪、平面镜干涉仪、角锥棱镜干涉仪等多种探头，适配复杂场景。  

3. 高稳定性与便捷性  

（1）激光光源与探头分离设计，3米铠装光纤连接，避免设备散热干扰，安装灵活。  

（2）体积小巧，适配狭小空间，降低阿贝误差风险。  

4. 广泛适用性  

大量程4米（可拓展），支持动态速度达2m/s，覆盖从静态检测到高速运动场景。  

典型应用场景

半导体制造：光刻机晶圆定位、精密工件台反馈控制。  

航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准。  

精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量。  

科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制。  

服务与支持

定制化方案：根据需求提供探头配置、量程拓展、环境补偿单元等灵活选配。  

专业认证：提供激光校准证书，确保数据性。  

全球服务网络：1年质保，技术支持团队7×24小时响应，快速解决现场问题。