RK1500 KOFLOC科赋乐 浮子流量计

KOFLOC科赋乐 浮子流量计

KOFLOC科赋乐 浮子流量计

所有产品均使用氦气检漏仪进行泄漏检测，因此具有高度可靠的泄漏检测能力。

因为是波纹管密封型装置，不存在针阀轴泄漏的可能性。

流体接触部分的材料只使用SUS316、氟树脂、氟橡胶和硬质玻璃，因此具有优异的耐腐蚀性

具有高精度再现性和稳定性的流量计，由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯、肋导向流量计管和超精密球组成，装设有流畅流量特性的精密针阀。

用途

用于真空设备

用于半导体生产线

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。