MFC330 四川微小气体流量计

我公司自主研发的 MFC330 气体质量流量控制器（以下简称 MFC330），

主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高 性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面，使气体流量控 制更加精准、稳定和简便，内置温度和压力传感器，采集气路温度、压力值 外，进一步对气体流量控制进行温压补偿；支持多种通讯协议，可以方便高 效的与电脑、PLC、工业触摸屏、单片机等进行通讯；具有多气体测量，高  精度，高稳定性，极低零漂等特性。

MFC330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工

业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型 的应用场合包括:  电子工艺设备,  如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子刻

蚀、溅射、离子注入;  以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系 统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

    产品特点

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

工作压差范围大：0-1MPa

低压损可选

全金属比例阀可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案

主要参数

介质要求  洁净干燥气体

气体种类  98+气体可选

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

测量范围  0.5%F.S.（1:200）

控制范围   1%-100% FS.（1:100）

准确度  ±1% F.S.

重复精度  ±0.2%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

控制响应时间  <3 秒

预热时间  5 min（T95），30 分钟最佳

阀门  常闭式