价格区间 | 面议 | 仪器种类 | 进口 |
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应用领域 | 综合 |
近常压X射线光电子能谱仪技术参数:
1.近常压XPS真空系统,包含分析腔和快速进样腔
1.1分析腔采用μ金属腔体或不锈钢腔体加消磁线圈
1.2分析腔配备分子泵以及前级泵,真空≤5×10-9mbar
1.3快速进样腔采用不锈钢腔体
1.4快速进样腔配备分子泵和前级泵,真空≤5×10-8mbar
2.电子能量分析器
2.1半球型,平均半径150mm
2.2四级差分抽气系统,一级和二级差分抽气之间配有阀门,可以实现真空腔体进气时保证分析器的真空度
2.3工作压力最大可达25mbar
2.4分析器接收角:≥44o
2.5工作距离:300-500μm
2.6八个入口狭缝,三个出口狭缝
2.7能量分辨率:≤10meV
2.8探测能量范围可达3.5keV
2.9Ag 3d峰计数率(在Al靶X光源束斑≤250μm,20W条件下):≥70kcps在UHV条件;≥7kcps在10mbar N2条件;≥0.5kcps在25mbar N2条件
2.10配有一维探测器(ADCMOS)
3.单色化阳极靶微聚焦X射线光源
3.1类型:单色化Al/Ag/Cr三阳极靶
3.2工作范围:10-10 –25mbar
3.3Al靶光斑尺寸:≤200μm
3.4Al靶光通量≥1.0x1010photons/s;Ag靶光通量≥1.0x109photons/s,Cr靶光通量≥1.0x1010photos/s
3.5配有差抽系统
3.6配套水冷机组,最大水压可达9bar
4.近常压X射线光电子能谱仪进气气路
4.1配有三路进气管路系统,配备质量流量计,用于气体通入
4.2带有自动压力控制,压力范围:1-30mbar
5.分析腔四轴全自动样品架
5.1四轴样品架移动范围:
X=±12.5mm
Y=±12.5mm
Z方向范围随系统配置
P=±180°polar(极角)
5.2四轴全自动化马达
5.3配备150W红外激光加热器,在25mbar N2条件下,样品温度最高可达1000℃
5.5配有液氮冷却,样品温度可到150K
6. 紫外光源
6.1束流密度>2x1016 photons/(sec x sterad)
6.2能量分辨率:FWHM<2meV
6.3可用气体:He、Ne、Ar等
6.4样品上束斑尺寸:<500μm
6.5可在近常压环境下进行UPS测试