产品介绍：
1设备名称：全自动干法去胶机
2设备型号：CGST3100
3全自动干法去胶机设备原理：ICP
4晶圆尺寸Wafer size: 8 inch（4或6 inch兼容）
5晶圆材料Wafer material: Si基（若为其他材料需写明）
设备主体 | |
设备尺寸 | L1300×W1190×H1847mm |
设备重量 | 800Kg |
设备电源 | AC220V，3P,50/60Hz，5线，16A |
主机软件 | Windows 10 |
主机通讯 | SECS/GEM |
主机硬盘 | 单/双 |
工艺腔 | ICP，单腔 |
料盒类型 | 开放式（Open cassette） |
晶圆单次处理容量 | 一片 |
机械手 | 3轴（单/双臂选配） |
机械手 | Mapping(选配） |
每小时出片量（WPH) | 35片/小时 (1分钟标准配方) |
加热盘 | 铝合金，控温：50-250℃ |
等离子发生系统 | |
电源类型 | 射频 |
电源功率 | 0~1000W |
电源频率 | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 |
真空系统 | |
工艺腔 | 铝合金 |
腔门 | 门阀，气动 |
真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
蝶阀 | 控压精度：±50 mtorr |
真空管路开关 | 角阀，气动 |
真空泵 | 干泵：600m3/h |
真空计 | 0.001-10 Torr |
腔体真空开关 | 750 Torr |
前级管道真空开关 | 100 Torr |
气体系统 | |
工艺气体系统 | 气柜，模块化（GAS BOX) |
气柜箱体材质 | 不锈钢 |
气柜排气 | 负压，酸排 |
气柜配置 | 过滤器，手动阀，流量计，气动阀，压差计，调速阀，连锁开关 |
气体路数 | |
气路1 | O2 5SLM |
气路2 | N2 1SLM |
气路3 | CF4 100SCCM |
气路4 | 4%H2/N2 1SLM |
气路5 | N2 慢/快速破真空 |
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