PHI ADEPT010 动态二次离子质谱仪D-SIMS|束蕴仪器
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- 公司名称 束蕴仪器(上海)有限公司
- 品牌
- 型号 PHI ADEPT010
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2025/6/27 8:48:13
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动态二次离子质谱仪(Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry,简称D-SIMS)是一种用于固体材料成分分析的高灵敏度表面分析技术。
ADEPT-1010 专为浅层半导体注入和绝缘薄膜的自动分析而设计,是大 多数半导体开发和支持实验室的常用工具。通过优化的二次离子收集光学系统 和超高真空设计,提供了薄膜结构检测中的掺杂组分和常见杂质所需的灵敏度。
工作原理:
动态二次离子质谱仪通过使用聚焦的高能量一次离子束(如O₂⁺、Cs⁺、Ar⁺等)轰击样品表面,使样品表面的原子或分子被溅射出来。在这个过程中,部分溅射出的粒子会带电,形成二次离子。这些二次离子被收集并传输到质谱仪中进行分析,通过质谱分析可以确定样品的化学组成和元素分布。