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化工仪器网>产品展厅>化工机械设备>真空设备>真空应用设备>SteeVac260/360/460 真空镀膜仪不锈钢腔体系列-东谱科技

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SteeVac260/360/460 真空镀膜仪不锈钢腔体系列-东谱科技

具体成交价以合同协议为准

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东谱科技 Oriental Spectra

东谱科技(品牌商标:Oriental Spectra)是一家专业的光电谱学类仪器及技术方案服务商,由国内外高校专业研究人员和行业工程师联合发起。团队核心成员均获得光机电类硕博士学位,具有5-10年国际实验室及企业研发经验,拥有出色的光电子前沿科学研究及光机电产品开发的实力。自主研发的系列谱学检测产品已广泛应用于材料科学、生命科学、食品科学、环境科学、石油化工、地质学等领域。公司经过多年发展,目前拥有应用于光电子器件性能表征分析的光电产品线和前沿光谱技术(瞬态、超快)为核心的光谱产品线。具备为太阳能电池、光伏材料与器件、发光材料与器件、光催化、半导体材料等行业研究需要提供对应表征测试分析仪器及测试方案的能力。

光电产品线

□ 电致/光致发光量子效率测量仪HiYield

□ 电致发光测量仪NovaLum

□ 多通道发光/光伏器件稳定性测量仪EL-Lab

□ 太阳能电池光伏特性测量仪Sunshine

□ 瞬态光电流/光电压/光电荷测量仪TranPVC

□ 多功能光电器件测量系统UltraTran

□ 飞行时间法迁移率测量仪FlyTOF

□ 多通道光伏器件稳定性测量仪PVLab

□ 光探测器综合测量仪FineDet 990

□ 有机发光分子取向仪AngleLum

□ 半导体光源Pina/NanoQ/Mic/Tuna

□ 多功能样品夹具HiSam

□ 气体变温快速换样系统MagicK

光谱产品线

□ 光电一体化时间分辨光谱仪HiLight 990

□ 稳瞬态荧光光谱仪HiLight HS15

□ 荧光寿命测量仪HiLight T30

□ 瞬态电致发光光谱仪HiLight E60

□ 荧光光谱仪HiLight S20

□ 宽时域时间分辨单光子计数器HiTime

□ 纳秒瞬态吸收(激光闪光光解)光谱仪NanoFly

□ 飞秒瞬态吸收光谱仪FemtoFly





光谱仪、光电检测仪器、激光器、技术服务

应用领域 化工,生物产业,能源,制药/生物制药,综合

产品简介

SteeVac系列可提供200A蒸镀电流,蒸发温度可600°C,能够满足大部分有机材料的蒸镀,也可按客户需求定制更高蒸镀温度;真空腔室采用优质不锈钢材料,采用方形结构,内部空间充足;可设置16组不同的蒸发材料,满足各种复杂的蒸镀条件;搭配分子泵可达优于5*10-4Pa的真空度,适应绝大部分蒸发材料所需真空环境;配备全自动抽真空系统;可以实现软件点击开启抽真空,全自动根据真空度检测机械泵、分子泵、闸板阀、电磁阀的智能开启,实现鼠标一键式抽真空。配备手套箱防抽爆自动检测系统。

产品特点

□ 自动切换掩膜系统;

□ 自动开关腔体,自动抽真空、退真空系统;

□ 自动镀膜工艺;

□ 完善的错误检测系统

□ 优异的镀膜均匀性;

□ 提供定制化服务。

产品应用

□ 有机分子薄膜制备;

□ 半导体薄膜制备;

□ 光学薄膜制备;

□ 金属电极制备;

□ 典型样品:OLED、钙钛矿、薄膜电池、薄膜晶体管等。

功能参数

□ 蒸发源数量:2~16组可选;

□ 蒸发电流:0~200A连续可调;

□ 蒸发电源模组:1~10组可选,功率600W,1200W,1500W可选;

□ 极限真空:优于4*10-5Pa;

□ 样品与蒸发源距离:固定或0~70mm可调;

□ 钨舟挡板:按蒸发源标配,2~16组;

□ 气压保护:进口压力开关,正负压可设置,有效保护真空环境;

□ 抽气速率:常压至5*10-2Pa≤10min;

□ 掩膜库:4位/6位/8位可选;

□ 真空保持:停止真空系统后12小时≤2 Pa;

□ 门板控制:手动、手动自动集成可选。

规格型号

参数/规格SteeVac 260SteeVac 360SteeVac 460
镀膜方式多源热蒸发镀膜多源热蒸发镀膜热蒸发镀膜
腔体结构方形,前后开门,可配合手套箱安装方形,前后开门,可配合手套箱安装方形,前后开门,可配合手套箱安装
材质用料优质真空不锈钢优质真空不锈钢优质真空不锈钢
真空腔室尺寸L260*W262*H351L360*W363*H486L460*W464*H635
电极分布扇形分布,相互间挡板隔离,避免交叉污染扇形分布,相互间挡板隔离,避免交叉污染扇形分布,相互间挡板隔离,避免交叉污染
低温源(有机/氧化物等)数量最多6个蒸发源最多9个蒸发源最多13个蒸发源
低温源温度范围室温~600°C室温~600°C室温~600°C
低温源切换PC控制/手动PC控制/手动PC控制/手动
高温源(金属)数量1~3可选1~4可选1~6可选
基片台(样品架)方案一φ161mm,圆形φ224mm,圆形φ287mm,圆形
基片台(样品架)方案二80*80mm,方形110*110mm,方形150*150mm,方形
基片台(样品架)加热常温/加热,加热可选配室温~400℃或室温~200℃温控范围
基片台(样品架)高度样品架与源表面距离:≤330mm;装片方式:侧插方式
样品托及掩模版70×70mm,可放置65×65mm样品100×100mm,可放置90×90mm样品134×134mm样品或放16片25×25mm样品
参数/规格SteeVac 260SteeVac 360SteeVac 460
基片台挡板程控,气缸+磁流体驱动,传动稳定,密封可靠程控,气缸+磁流体驱动,传动稳定,密封可靠程控,气缸+磁流体驱动,传动稳定,密封可靠
基片台升降固定间距或0~30mm可调固定间距或0~50mm可调固定间距或0~70mm可调
基片尺寸≤30×30mm≤30×30mm≤30×30mm
膜厚不均匀性≤5%≤5%≤5%
备用接口466
门板控制手动/自动/手自一体手动/自动/手自一体手动/自动/手自一体
系统控制PC软件;速率自动控制,功率控制,温度控制。PC软件;速率自动控制,功率控制,温度控制。PC软件;速率自动控制,功率控制,温度控制。
蒸镀过程控制各操作环节,掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成各操作环节,掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成各操作环节,掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成
总功率≥5KW≥8KW≥10KW
抽气速率5.0×10-2Pa≤5min5.0×10-2Pa≤8min5×10-2Pa≤10min
极限真空优于4.0×10-5Pa优于4.0×10-5Pa优于4.0×10-5Pa
漏率≤6.5×10-8Pa·L/S≤6.5×10-8Pa·L/S≤6.5×10-8Pa·L/S
工作真空≥5×10-4Pa,从大气到工作真空时间≤30min
系统保压系统抽到极限后,停泵关机12小时后,系统真空度保持≤2Pa
参数/规格SteeVac 260SteeVac 360SteeVac 460
分子泵类别油/脂润滑、磁悬浮可选油/脂润滑、磁悬浮可选油/脂润滑、磁悬浮可选
冷却系统搭配循环水冷却搭配循环水冷却搭配循环水冷却
循环水参数

≤4LMP,温度范围-5°C~45°C,温控精度0.1%

≤4LMP,温度范围-5°C~45°C,温控精度0.1%


≤4LMP,温度范围-5°C~45°C,温控精度0.1%
掩膜库一4位4位4位
掩膜库二6位6位6位
掩膜库8位8位8位
真空系统分子泵+机械泵,PC软件控制分子泵+机械泵,PC软件控制分子泵+机械泵,PC软件控制
蒸发电源

控制方式:恒流模式;

数量:按客户要求;

功率:600W,1200W,1500W可选;

精度:程控精度为量程的0.01%。

控制方式:恒流模式;

数量:按客户要求;

功率:600W,1200W,1500W可选;

精度:程控精度为量程的0.01%。

控制方式:恒流模式;

数量:按客户要求;

功率:600W,1200W,1500W可选;

精度:程控精度为量程的0.01%。

典型:金属源×4套,有机源×4套,内门,外门下方各放两只有机源,左右各放两只金属源;有机源可开舱调整角度,带有标尺,范围竖直到指向样品中心。
真空保持12小时≤2Pa12小时≤2Pa12小时≤2Pa
系统保护气压、高压保护,控制系统全程即时报警气压、高压保护,控制系统全程即时报警气压、高压保护,控制系统全程即时报警
参数/规格SteeVac 260SteeVac 360SteeVac 460
气路控制超高真空气动电磁阀超高真空气动电磁阀超高真空气动电磁阀
电气柜与系统一体式集成化,节省空间与系统一体式集成化,节省空间与系统一体式集成化,节省空间
腔室测温可选高精度PT100测温,软件实时显示温度值可选高精度PT100测温,软件实时显示温度值可选高精度PT100测温,软件实时显示温度值
膜厚仪腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪;可选国产或进口监测控制仪腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪;可选国产或进口监测控制仪腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪;可选国产或进口监测控制仪
真空计显示范围1.0×105Pa~1.0×10-5Pa1.0×105Pa~1.0×10-5Pa1.0×105Pa~1.0×10-5Pa
机架进口铝型材组装,整体简洁大方进口铝型材组装,整体简洁大方进口铝型材组装,整体简洁大方
显示屏搭配工业级屏幕支架,可任意角度旋转及随意升降,满足不同用户的舒适要求搭配工业级屏幕支架,可任意角度旋转及随意升降,满足不同用户的舒适要求搭配工业级屏幕支架,可任意角度旋转及随意升降,满足不同用户的舒适要求






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