SteeVac260/360/460 真空镀膜仪不锈钢腔体系列-东谱科技
- 公司名称 东谱科技(广州)有限责任公司
- 品牌 东谱
- 型号 SteeVac260/360/460
- 产地 中国
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/3/11 11:14:31
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应用领域 | 化工,生物产业,能源,制药/生物制药,综合 |
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产品简介
SteeVac系列可提供200A蒸镀电流,蒸发温度可600°C,能够满足大部分有机材料的蒸镀,也可按客户需求定制更高蒸镀温度;真空腔室采用优质不锈钢材料,采用方形结构,内部空间充足;可设置16组不同的蒸发材料,满足各种复杂的蒸镀条件;搭配分子泵可达优于5*10-4Pa的真空度,适应绝大部分蒸发材料所需真空环境;配备全自动抽真空系统;可以实现软件点击开启抽真空,全自动根据真空度检测机械泵、分子泵、闸板阀、电磁阀的智能开启,实现鼠标一键式抽真空。配备手套箱防抽爆自动检测系统。
产品特点
□ 自动切换掩膜系统;
□ 自动开关腔体,自动抽真空、退真空系统;
□ 自动镀膜工艺;
□ 完善的错误检测系统
□ 优异的镀膜均匀性;
□ 提供定制化服务。
产品应用
□ 有机分子薄膜制备;
□ 半导体薄膜制备;
□ 光学薄膜制备;
□ 金属电极制备;
□ 典型样品:OLED、钙钛矿、薄膜电池、薄膜晶体管等。
功能参数
□ 蒸发源数量:2~16组可选;
□ 蒸发电流:0~200A连续可调;
□ 蒸发电源模组:1~10组可选,功率600W,1200W,1500W可选;
□ 极限真空:优于4*10-5Pa;
□ 样品与蒸发源距离:固定或0~70mm可调;
□ 钨舟挡板:按蒸发源标配,2~16组;
□ 气压保护:进口压力开关,正负压可设置,有效保护真空环境;
□ 抽气速率:常压至5*10-2Pa≤10min;
□ 掩膜库:4位/6位/8位可选;
□ 真空保持:停止真空系统后12小时≤2 Pa;
□ 门板控制:手动、手动自动集成可选。
规格型号
参数/规格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
镀膜方式 | 多源热蒸发镀膜 | 多源热蒸发镀膜 | 热蒸发镀膜 |
腔体结构 | 方形,前后开门,可配合手套箱安装 | 方形,前后开门,可配合手套箱安装 | 方形,前后开门,可配合手套箱安装 |
材质用料 | 优质真空不锈钢 | 优质真空不锈钢 | 优质真空不锈钢 |
真空腔室尺寸 | L260*W262*H351 | L360*W363*H486 | L460*W464*H635 |
电极分布 | 扇形分布,相互间挡板隔离,避免交叉污染 | 扇形分布,相互间挡板隔离,避免交叉污染 | 扇形分布,相互间挡板隔离,避免交叉污染 |
低温源(有机/氧化物等)数量 | 最多6个蒸发源 | 最多9个蒸发源 | 最多13个蒸发源 |
低温源温度范围 | 室温~600°C | 室温~600°C | 室温~600°C |
低温源切换 | PC控制/手动 | PC控制/手动 | PC控制/手动 |
高温源(金属)数量 | 1~3可选 | 1~4可选 | 1~6可选 |
基片台(样品架)方案一 | φ161mm,圆形 | φ224mm,圆形 | φ287mm,圆形 |
基片台(样品架)方案二 | 80*80mm,方形 | 110*110mm,方形 | 150*150mm,方形 |
基片台(样品架)加热 | 常温/加热,加热可选配室温~400℃或室温~200℃温控范围 | ||
基片台(样品架)高度 | 样品架与源表面距离:≤330mm;装片方式:侧插方式 | ||
样品托及掩模版 | 70×70mm,可放置65×65mm样品 | 100×100mm,可放置90×90mm样品 | 134×134mm样品或放16片25×25mm样品 |
参数/规格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
基片台挡板 | 程控,气缸+磁流体驱动,传动稳定,密封可靠 | 程控,气缸+磁流体驱动,传动稳定,密封可靠 | 程控,气缸+磁流体驱动,传动稳定,密封可靠 |
基片台升降 | 固定间距或0~30mm可调 | 固定间距或0~50mm可调 | 固定间距或0~70mm可调 |
基片尺寸 | ≤30×30mm | ≤30×30mm | ≤30×30mm |
膜厚不均匀性 | ≤5% | ≤5% | ≤5% |
备用接口 | 4 | 6 | 6 |
门板控制 | 手动/自动/手自一体 | 手动/自动/手自一体 | 手动/自动/手自一体 |
系统控制 | PC软件;速率自动控制,功率控制,温度控制。 | PC软件;速率自动控制,功率控制,温度控制。 | PC软件;速率自动控制,功率控制,温度控制。 |
蒸镀过程控制 | 各操作环节,掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成 | 各操作环节,掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成 | 各操作环节,掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成 |
总功率 | ≥5KW | ≥8KW | ≥10KW |
抽气速率 | 5.0×10-2Pa≤5min | 5.0×10-2Pa≤8min | 5×10-2Pa≤10min |
极限真空 | 优于4.0×10-5Pa | 优于4.0×10-5Pa | 优于4.0×10-5Pa |
漏率 | ≤6.5×10-8Pa·L/S | ≤6.5×10-8Pa·L/S | ≤6.5×10-8Pa·L/S |
工作真空 | ≥5×10-4Pa,从大气到工作真空时间≤30min | ||
系统保压 | 系统抽到极限后,停泵关机12小时后,系统真空度保持≤2Pa | ||
参数/规格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
分子泵类别 | 油/脂润滑、磁悬浮可选 | 油/脂润滑、磁悬浮可选 | 油/脂润滑、磁悬浮可选 |
冷却系统 | 搭配循环水冷却 | 搭配循环水冷却 | 搭配循环水冷却 |
循环水参数 | ≤4LMP,温度范围-5°C~45°C,温控精度0.1% | ≤4LMP,温度范围-5°C~45°C,温控精度0.1% | |
掩膜库一 | 4位 | 4位 | 4位 |
掩膜库二 | 6位 | 6位 | 6位 |
掩膜库 | 8位 | 8位 | 8位 |
真空系统 | 分子泵+机械泵,PC软件控制 | 分子泵+机械泵,PC软件控制 | 分子泵+机械泵,PC软件控制 |
蒸发电源 | 控制方式:恒流模式; 数量:按客户要求; 功率:600W,1200W,1500W可选; 精度:程控精度为量程的0.01%。 | 控制方式:恒流模式; 数量:按客户要求; 功率:600W,1200W,1500W可选; 精度:程控精度为量程的0.01%。 | 控制方式:恒流模式; 数量:按客户要求; 功率:600W,1200W,1500W可选; 精度:程控精度为量程的0.01%。 |
典型:金属源×4套,有机源×4套,内门,外门下方各放两只有机源,左右各放两只金属源;有机源可开舱调整角度,带有标尺,范围竖直到指向样品中心。 | |||
真空保持 | 12小时≤2Pa | 12小时≤2Pa | 12小时≤2Pa |
系统保护 | 气压、高压保护,控制系统全程即时报警 | 气压、高压保护,控制系统全程即时报警 | 气压、高压保护,控制系统全程即时报警 |
参数/规格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
气路控制 | 超高真空气动电磁阀 | 超高真空气动电磁阀 | 超高真空气动电磁阀 |
电气柜 | 与系统一体式集成化,节省空间 | 与系统一体式集成化,节省空间 | 与系统一体式集成化,节省空间 |
腔室测温 | 可选高精度PT100测温,软件实时显示温度值 | 可选高精度PT100测温,软件实时显示温度值 | 可选高精度PT100测温,软件实时显示温度值 |
膜厚仪 | 腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪;可选国产或进口监测控制仪 | 腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪;可选国产或进口监测控制仪 | 腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪;可选国产或进口监测控制仪 |
真空计显示范围 | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa |
机架 | 进口铝型材组装,整体简洁大方 | 进口铝型材组装,整体简洁大方 | 进口铝型材组装,整体简洁大方 |
显示屏 | 搭配工业级屏幕支架,可任意角度旋转及随意升降,满足不同用户的舒适要求 | 搭配工业级屏幕支架,可任意角度旋转及随意升降,满足不同用户的舒适要求 | 搭配工业级屏幕支架,可任意角度旋转及随意升降,满足不同用户的舒适要求 |