KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。KLA Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

轮廓仪探针测量技术的一个优势是它是接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这可以对您的工艺进行量化，以确定添加或移除的材料量，以及通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

特征

• 台阶高度：纳米级到1200微米

• 微力：0.03至15毫克

• 视频：5MP高分辨率彩色相机

• 梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真

• 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

• 小巧的尺寸：体积最小的台式探针式轮廓仪

• 软件：用户友好的软件界面

应用

• 台阶高度：2D台阶高度

• 纹理：2D粗糙度和波纹度

• 形状：2D翘曲和形状

• 应力：2D薄膜应力

• 台阶高度：2D台阶高度

• 纹理：2D粗糙度和波纹度

• 形状：2D翘曲和形状

• 应力：2D薄膜应力

工业

• 高校、实验室和研究所

• 半导体和化合物半导体

• LED：发光二极管

• 太阳能板

• MEMS：微机电系统

• 汽车

• 医疗设备