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水平炉管清洗机 具有高效清洁能力

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芯矽科技是一家专注半导体湿法设备制造公司,主要提供实验室研发级到全自动量产级槽式清洗机,单片清洗机,高纯化学品/研磨液供应回收系统及工程,公司核心产品12寸全自动晶圆化学镀设备,12寸全自动炉管/ Boat /石英清洗机已占据行业主导地位,已经成功取得长江存储,中芯国际,重庆华润,上海华虹,上海积塔,上海格科,广东粤芯,青岛芯恩,厦门士兰,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab产线订单,我们致力于为合作伙伴提供适合你的解决方案。


导体湿法设备

水平炉管清洗机是一种专门用于清洗石英炉管或石英舟的设备,广泛应用于半导体制造、光学镀膜和材料科学研究等领域。以下是关于水平炉管清洗机的详细介绍:

一、设备概述

水平炉管清洗机通过浸泡、旋转和喷淋等方式对炉管内壁进行高效清洗,以去除颗粒、有机物、金属离子等污染物。其结构主要由清洗槽、溢流排放槽、本体、工件支撑及旋转驱动机构、排风系统、给排水系统及电器部分构成。该设备具有自动化程度高、操作简便、清洗效果好等优点。

二、主要特点

自动化程度高:设备采用PLC控制,可实现自动运行,无需人工干预,大大降低了人力成本,同时提高了生产效率。

清洗效果好:通过浸泡、旋转和喷淋等多种方式相结合,能够去除炉管内壁的污染物,确保清洗效果。

操作简便:设备设计人性化,操作界面友好,易于上手。同时,设备还具备故障自诊断功能,方便用户及时排除故障。

安全可靠:设备采用多重安全保护措施,如漏电保护、过载保护等,确保操作过程的安全可靠性。

节能环保:在清洗过程中,设备采用节能技术,降低能耗,同时减少废水、废气等污染物的排放,符合绿色环保理念。

三、应用领域

水平炉管清洗机广泛应用于以下领域:

半导体制造:用于清洗半导体制造过程中使用的石英炉管,确保炉管的清洁度,提高芯片的良率和性能。

光学镀膜:在光学镀膜过程中,炉管的清洁度直接影响到镀膜的质量。水平炉管清洗机能够有效去除炉管内的污染物,保证镀膜质量。

材料科学研究:在材料科学研究中,需要对炉管进行严格的清洗,以确保实验的准确性和可靠性。水平炉管清洗机能够满足这一需求。

四、技术参数(示例)

电源:AC 380V 三相五线制

总功率:约25KW

外形尺寸:长宽高 600016001800mm(不含尾气塔)

清洗对象长度:2000mm

清洗对象外径范围:Ф10~Ф150mm

旋转速度:变频调速,0~30转/分可调

装料高度:≤700mm

排水口:DN25

进水口:DN20

节拍时间:<120S/篮(含液位等待时间)

单次处理量:1件Φ150以内,长度≤2000mm的石英炉管或2件石英舟(极大限额)





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