日本ULVAC爱发科大型设备溅射SV-9045
日本ULVAC爱发科大型设备溅射SV-9045
间歇式溅射设备SV系列
特征
SV-4540、6040和9045为转盘式，具有较大的电路板装载能力，非常适合中小型或小批量、多品种生产。
SV-200 圆盘压模机 镍膜沉积专用设备，超紧凑、全自动、高产量。
目的
在各种基材上沉积电极膜、绝缘膜和介电膜
规格
| SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 | |
| 标准排气系统 | 8”低温泵 | 12”低温泵 | 12”低温泵 | 16”低温泵 |
| 极限压力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
| 车厂方向 | 边 | 边 | 边 | 边 |
| 成膜面积均匀性 静 转 | Φ200mm±5% | L300mm±10% | L300mm±10% | L400mm±10% |
| 基材加热 | 没有任何 | 250℃ | 250℃ | 250℃ |
| 控制系统 | 自动的 | 自动的 | 自动的 | 自动的 |
不包括选项SV-200 | 涡轮泵 | 非水冷电极 | ||
| 油扩散泵 | APC机制 | |||
| 多个同时仓库 | 基材换向机构 | |||
| 下站 | 反应溅射 | |||
| 常规阴极 | ||||
| 铁磁材料阴极 | ||||
| 射频蚀刻清洗 (SV-4540) | ||||
| 偏置机构（SV-4540） | ||||
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