晨穹CPS01石英差压压力芯体

            产品简介：基于差动电容原理，以石英基膜为感压元件，石英基膜两侧感应外界输入的两路压力，当外界两路压力发生改变时，感压膜发生应变，从而使感压膜与上、下电极构成的差动电容发生改变，进而实现压力测量。产品为数字输出，外形小巧，适用对功耗有低要求的压力测量应用场景。

           产品特点：以石英晶体材料作为敏感单元，感知压力变换的高精度压力传感器。与金属基和陶瓷基压力传感器相比，具有体积小、集成度高的优点；与硅基压力传感器相比，具有温漂系数小、稳定性高的优势。

石英薄膜作为感压单元，通过感压膜应变引起的振梁频率变化来感知压力。我们的技术方案基于以下三个方面的技术经验：

石英加工技术：采用石英晶体材料作为压力传感器的核心元件，晨晶深耕水晶多年，具有深厚技术积淀和QMEMS加工线。

传感器检测技术：压力传感器的精度与电路检测和补偿能力直接相关，晨晶在MEMS传感器领域开发多年，具有石英谐振信号检测技术。

IC技术：压力传感器的发展趋势是小型化、ASIC集成化，公司有专业的ASIC设计团队，是压力传感器后续占有工业领域市场的基础。