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晶圆加热装置

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  果果仪器GoGo Instruments成立于2017年,主要从事测试设备的开发、集成和技术服务,专注冷热控制技术相关的 力学、电学、光学 原位测试,为先进材料、半导体、新能源、生物医药、矿业等领域提供测试整体解决方案。
 
  作为科研设备及测试技术服务商,公司一直秉承“不断创新,为科研保驾护航”的品牌理念,为科学研究提供前沿、优质和性价比的产品、服务。拥有多学科的专业研发技术人员,具备丰富的软、硬件开发经验和开发能力。果果仪器拥有自主知识产权的核心技术。专业的销售团队和技术人员,快速响应解答客户难题 ; 积极、完善的售后服务让您无后顾之忧。公司产品已销售至清华大学、上海交通大学、西安交通大学、中科院、南方科技大学、华为等一百多所科研院所和企业, 获得广泛好评。
  果果仪器GoGo Instruments目前已拥有小型温控设备,如探针冷热台、光学冷热台、半导体冷热台、XRD冷热台 、 SEM冷热台、原位拉伸冷热台 、拉伸机冷热台、电化学测试冷热台等;针对样品变温测试的环境箱 ;各种测试系统和解决方案,如介电温谱/频谱/阻抗谱测试系统、电介质充放电测试系统、电卡测试系统、变温I-V测试系统、高压I-V测试系统、热激励去极化电流测试系统、OLED变温光电测试系统、变温拉曼测试系统、DIC变温拉伸测试系统等。果果仪器支持定制开发,定制接口和支架,兼容不同仪器设备,满足客户的特殊需求。

 

 

 

探针冷热台,半导体冷热台,光学冷热台,XRD原位测试冷热台,原位拉伸冷热台,拉伸台,拉伸机冷热台,SEM冷热台,高低温试验箱,拉伸试验机环境箱,光电力学测试系统。

应用领域 化工,电子/电池,航空航天,电气

果果仪器 晶圆加热装置在半导体制程过程中非常重要,特别是在一些关键工艺中,如晶圆退火、键合、匀胶、刻蚀、气相沉积等,它可以提供稳定的温场环境及精密的盘面均匀温度,确保晶圆在各种温区中的加热要求,从而实现半导体器件的制造和研发。

 



 

产品特点:


  • 快速升温

  • 温度均匀

  • 控温稳定

  • 多温区可调

 


适用领域:半导体、芯片、晶圆等



 

8英寸不锈钢晶圆键合加热模块:



晶圆加热装置

 

8英寸铝合金加热盘:

晶圆加热盘,RT~400℃,温度均匀性≤±4℃,盘面平整度≤0.02mm


 

 

8英寸不锈钢加热盘:

RT~550℃,真空时使用



↑ 仿真模拟 ↑


晶圆加热装置



↑ 平面度检测及温控曲线 ↑



 

 

 



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