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SUMMIT200 探针台

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

200 mm 探针台,用于收集高精度测量数据,速度提高 5 倍

新型 Cascade SUMMIT200先进的 200mm 探针系统,对于在单个或体积晶圆上收集高精度测量数据至关重要;越快越好。

SUMMIT200探针台专为研发、设备表征/建模或利基生产应用而设计,可在超低噪声、直流、射频、毫米波和太赫兹应用中进行温度范围内的精确电气测量,具有半自动和现在的全自动操作,可尽快获得准确数据。

下一代探头系统支持 PureLine™ 技术,可实现市场上低的噪声水平之一。获得AttoGuard® 和 MicroChamber® 技术可显著改善低泄漏和低电容测量。新的先进200毫米快速平台,盒式处理多达50片晶圆,高吞吐量测试功能,以及-60°C至300°C的宽温度范围,为科学家,研发和测试工程师或生产操作员提供了快速完成工作所需的一切。

SUMMIT200探针台支持Contact Intelligence™,这是一种技术,可实现自主半导体测试。创新的系统设计和先进的图像处理技术强强结合,提供了一个独立于操作员的解决方案,可在任何时间和温度下获得高度可靠的测量数据。

该SUMMIT200具有广泛的应用范围和满足任何未来需求的升级路径,提供先进的 200 mm 探针台平台,可对现有和未来的设备和 IC 进行快速、高精度和大批量测量。

*SUMMIT200 平台还提供不同版本,用于不需要上述增强功能集的测量任务。





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