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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>干法工艺设备>干法清洗设备>UC100-SE 紫外臭氧清洗机

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UC100-SE 紫外臭氧清洗机

具体成交价以合同协议为准
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紫外臭氧清洗

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

1.基本参数

品牌与型号:LEBO/雷博,UC100-SE

产地:中国江苏江阴

额定电压:AC220V,50Hz

灯管功率:多为300W,也有资料提及为275W(具体以实际产品为准)

灯管寿命:≥8000小时

灯管形状:U型或G型(不同来源信息可能略有差异)

灯管光谱:185nm+254nm或184nm+254nm(不同来源信息可能略有差异)

清洗面积:≤8寸

外型尺寸:大致为330mm(W)×400~420mm(D)×315mm(H)(不同来源信息可能略有差异)

产品重量:约为15~16kg

2.功能与特性

高效清洗:通过VUV低压紫外汞灯发射的185nm和254nm波长的紫外光,直接打开和切断有机物分子中的共价键,使其活化并分解成离子、游离态原子等,同时生成臭氧和活性氧原子,通过氧化反应清除粘附在物体表面上的有机污染物。

集成控制系统:设备采用集成式的嵌入式控制系统,带有LCD点阵液晶显示屏和数字化操作界面,用户操作更加简单直观。

高度调节与误触保护:基片照射高度可无化调节或采用X型调节装置,确保高度调节更加平稳。同时,系统自带误触功能,降低操作失误几率。

风量调速:进风及抽风风扇采用5调速,可根据需要调节风量,确保清洗效果。

人体工程学设计:设备设计符合人体工程学原理,实验操作易上手,使用便捷。

3.应用域

UC100-SE紫外臭氧清洗机广泛应用于多个域,包括但不限于:

LCD、OLED生产:在涂光刻胶、PI胶、定向膜、铬膜、色膜进行光清洗,提高基体表面润湿性和粘合力。

半导体生产:硅晶片涂保护膜、铝蒸发膜进行光清洗,提高粘合力,防止针孔、裂缝的发生。

扫描探测显微镜:用于清洗原子力显微镜探针、扫描探针显微镜标准和其他表面上的油渍层和残留的无机材料。





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