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PT500 等离子清洗机

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等离子清洗

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

1.产品特点

设备小巧:PT500真空等离子清洗机设计紧凑,适合在实验室环境中使用,便于操作和存放。

真空腔容量大:虽然设备小巧,但其真空腔容量足够大,可以满足小批量样品的处理需求。

无高温清洗:清洗过程不会产生高温,避免了产品因热变形而导致的质量问题。

广泛适用性:可以处理各种各样的材质,如金属、半导体、氧化物或高分子材料等,应用广泛。

一键式操控:设备操作简便,一键式操控,提高了工作效率。

无环境污染:清洗过程中无化学品消耗,机台本身不产生污染物,符合环保要求。

2.技术参数

参数名称参数值

腔体材质铝合金

供电电源AC220V

射频电源功率0-500W可调

射频频率25KHz

真空度≤100Pa

气体路数单路

气体流量0.1-1l/min(可调)

清洗时间0—999连续可调

内腔尺寸147mm*145mm(可定制更大尺寸)

外形尺寸452mm380mm225mm(注意:不同来源信息中高度可能略有差异)

重量≈18KG

包装方式纸箱包装

3.应用域

PT500真空等离子清洗机广泛应用于微电子、半导体、光电、航空航天等行业的制造和实验研究等域。它是目表面处理工艺的重要设备之一,能够有效地去除样品表面的污染物和氧化物,提高样品的表面质量和性能。




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