Pishow® D 系列 8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀设备
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 深圳市矢量科学仪器有限公司
- 品牌 鲁汶
- 型号 Pishow® D 系列
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/6/5 21:29:54
- 访问次数 499
产品标签
联系方式：谢泽雨19842703026 查看联系方式
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息，谢谢!
8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀（ICP-DSE）设备
1. 详细介绍
Pishow® D 系列深刻蚀设备，是针对8英寸~6英寸产线或科研深硅刻蚀工艺的用设备，拥有自主开发的优化设计，保证了优异的刻蚀精度控制和损伤控制。
提供Si Bosch工艺的解决方案。
该设备高性价比的解决方案和优秀的空间利用率，可帮助不同客户实现产能升。
2. 系统特性
Pishow® D 系列是采用深硅刻蚀技术的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备
提供Bosch解决方案，实现对Si的高深宽比刻蚀
优化的气柜设计，缩短进气距离，短工艺切换时间小于1.0
Pishow® D 系列可选择8~4英寸晶圆，提供单腔式和多腔式等多种腔室搭配方式
采购中心
化工仪器网