PC450 高真空磁控溅射粉末颗粒表面薄膜沉积系统

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薄膜沉积

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公司介绍 主营产品

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

展开

冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发

1.产品概述：

高真空磁控溅射粉末颗粒表面薄膜沉积系统可以在粉末颗粒状样品表面镀制金属膜、磁性膜、绝缘膜等，采用行业的软件控制系统。

2.设备用途：

可广泛应用于大院校、科研院所的粉末样品表面镀制薄膜材料的科研项目。

3.真空室结构:

圆筒形侧开门，通常采用不锈钢材质制造，具备良好的密封性能

真空室尺寸:Ф450x550mm

限真空度:≤8.0E-5Pa

沉积源:永磁靶2套，φ3英寸

样品尺寸，温度:小型粉末颗粒状样品

占地面积（长x宽x高）:约1米x1.8米x2米

电控描述:全自动设备电控系统和控制系统：采用计算机控制，具有液晶显示屏、鼠标键盘操作界面，支持自动控制和手动控制两种方式，操作简便，并可实现真空系统及工艺过程的全自动化操作。