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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>薄膜生长设备>化学气相沉积设备>PlasmaPro 100 Nano 等离子增强化学气相沉积

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PlasmaPro 100 Nano 等离子增强化学气相沉积

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薄膜生长

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

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应用：

  • 二维材料 生长

  • MoS2 生长

  • 石墨烯 生长

  • 一维材料 生长

  • 碳纳米管（CNT）生长

  • 气柜 —— 包含额外的气体管线，提供更大的灵活性

  • 涡轮分子真空泵 —— 提供泵送速度加快气体的流动速度

  • 光学终点探测—— 实现更好工艺结果的重要工具

  • TEOS液位传感 —— 使用安装在TEOS罐上的超声波液位传感器实现液位传感




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