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铌酸锂/钽酸锂抛光后清洗机
产品尺寸：4/6/8/12英寸圆片
处理能力：25片/50片 每槽
清洗技术：超声、加热、抛动、喷淋、溢流、鼓泡、快排
是否包含local cds：是
是否自动机台：是
铌酸锂/钽酸锂抛光后清洗机详细介绍
1、台面布局
2、功能介绍
上料：50片/批次；自动抓取；手动透明安全门；
1#（加热超声槽）：抛动、循环；超声；不锈钢加热器60±5℃；时间可设定；重力直排；
2#（加热超声槽）：抛动、循环过滤；超声；不锈钢加热器60±5℃；时间可设定；重力直排；
4#（加热超声槽）：抛动、循环过滤；超声；不锈钢加热器60±5℃；时间可设定；重力直排；
3#、5#（热水溢流槽）：预热箱预热供给50℃热水；慢溢流，溢流时间可设；
6#（QDR槽）：厂务供水；常温；喷淋；溢流；氮气鼓泡；快排；工艺时间可设定；
下料：湿出；50片/批次；手动取出；自动透明安全门；（下料时若无人员按钮确认产品一直在6号槽慢溢流保护）
3、动力条件
买方提供设备的用电、气、水等公用厂务的接口以实际设计为准
序号 | 种类 | 规格 | 材质 | 方式 |
1 | 电源 | 380V 三相五线 50Hz 35KW | ||
2 | 去离子水 | 0.2～0.3MPa，4 m3/h（间断用）， 进水管：DN25（外径32mm）。 | CPVC或PFA | 活接 |
3 | 高压空气 | 0.6MPa，一般为6m3/h， 进气口径 ≥φ10mm。 | PP或TPU软管 | 内螺纹 |
4 | 氮气 | 0.4～0.6MPa，一般为3 m3/h，进气口径 ≥φ10mm。 | PP或TPU软管 | 内螺纹 |
5 | 排 风 量 | 6000 m3/h，2*DN200。 | SUS304材质 | 法兰 |
6 | 废水排放 | 4.3 m3/h，英制D2”*2 或DN40（外径50mm） | PP | 活接 |
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