PD-100ST 等离子体增强CVD系统

1. 产品概述

PD-100ST是一种用于研发的低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)等离子体增强CVD系统。Samco的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源，以低应力沉积SiO2薄膜，从薄膜到厚的薄膜（高达100 µm）。PD-100ST具有时尚、紧凑的设计，只需要小的洁净室空间。

2. 设备用途/原理

塑料材料上保护膜的沉积。在3D LSI的通孔侧壁上沉积绝缘膜。光波导的制造（光纤芯/包层）。制造用于微型机械生产的面罩。覆盖高纵横比结构，如MEMS器件。SAW设备的温度补偿膜和钝化膜。

3. 设备特点

沉积物达ø100 mm（4"）。阴耦合自偏析沉积技术可以实现低应力薄膜的高速（>300 nm/min）沉积。通过低温沉积，可以在塑料表面上沉积薄膜。高纵横比结构的优秀阶梯覆盖率，使用锗、磷、硼液源控制折射率。PD-100ST设计时尚、紧凑，只需要小的洁净室空间。