PD-3800L 化学气相沉积系统

1. 产品概述

PD-3800L是一种能够沉积硅基薄膜（氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅）的锁载等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统。该系统由于采用了大型反应室，并通过载盘装载多片晶圆进行批量处理，因此产量较高。在直径360mm的区域内可以沉积出具有优异的厚度均匀性和应力控制的薄膜，具有优异的稳定性和可重复性。用户友好的触摸屏界面用于参数控制和配方存储。该系统是大规模生产用薄膜沉积的理想选择，具有优异的重复性。

2. 设备用途/原理

SiH4-SiNx。SiH4-SiO2。液体驱体(SN-2)SiNx。TEOS-SiO2。

3. 设备特点

大加工范围：ø360 mm (ø3" x 9, ø4" x 6, ø6" x 3)，优异的均匀性和应力控制，工艺稳定性和可重复性，坚固的系统，低的运行/维护成本，用户友好的触摸屏界面，用于参数控制和配方存储。