FLOURIS 201系列 8英寸立式炉
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- 公司名称 深圳市矢量科学仪器有限公司
- 品牌 北方华创
- 型号 FLOURIS 201系列
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/6/5 12:44:42
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1. 产品概述
FLOURIS 201系列 8英寸立式炉，高精度温度场控制技术，可实现 1200℃ 内氧化退火工艺。
2. 设备用途/原理
FLOURIS 201系列 8英寸立式炉，高精度温度场控制技术，可实现 1200℃ 内氧化退火工艺，优良的颗粒控制技术，优良的膜厚均匀性控制技术，图形化操作界面和群组管理系统。
3. 设备特点
晶圆尺寸 8 英寸，适用材料 硅、碳化硅。适用工艺 高温氧化、退火、常压合金、Polyimide 固化。适用域 科研、化合物半导体、集成电路。百科：半导体立式炉的原理主要涉及到半导体材料的热处理过程，这一过程在半导体制造中至关重要。立式炉的设计允许对半导体材料进行精确的温度控制和气氛管理，从而促进材料的特定化学反应，如外延生长等。
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