Xevios多用途清洗装置高压脉冲喷射清除异物

Xevios多用途清洗装置高压脉冲喷射清除异物  特点介绍

兼容晶圆、石英、玻璃、蓝宝石、SiC等多种材质。

结合高压间歇喷射、二流体喷射、各种刷子、超声波、化学溶液等，可应对从粗加工到各种清洗工艺。抛光后清洗至精密清洗。

Xevios多用途清洗装置高压脉冲喷射清除异物  规格参数

一种多用途清洁装置，可在一个腔室中清除异物、有机物和金属污染物。

[设备概述] 结合双面擦洗清洗和化学处理的设备，适用于各种晶圆尺寸和材料

[应用实例] 成膜前清洗 外延后清洗 蚀刻后抛光清洗 剥离清洗

一种使用高压脉冲喷射来清洁各种载体（盒）和盒子，同时使用铰接式机器人与待清洁物体保持恒定距离的设备。

[应用示例] 盒式（载体）清洗 盒式清洗

用于去除顽固物质和金属污染物的设备

[设备概述]

集盘刷清洗、滚刷清洗、化学清洗于一体的小批量生产设备。

[应用实例] 贴膜前清洗

一种在不接触工件的情况下清洁工件正反面和边缘的装置。

[设备概述]

单晶圆清洗设备，用表面活性剂和纯水擦洗去除抛光晶圆，然后进行兆频超声波喷淋、漂洗和旋转干燥。

[应用实例] 抛光后清洗

以过滤水或纯水为介质进行镜面抛光、粗抛、清洗等的抛光设备。

[应用实例] 镜面加工、镜面加工、端面异物清理