RHXX-AWB 全自动超声清洗机

全自动超声清洗机

适用材料：Si、SiC、砷化镓、氧化镓、氮化镓、玻璃、石英、基板、陶瓷、InP、蓝宝石、铌酸锂、钽酸锂等

适用晶片尺寸：2~12寸（方片/圆片）

清洗方式：药剂超声+水超声

适用工艺段：研磨后、粗抛后、精抛后、CMP后、减薄后等工艺

全自动超声波清洗机设备配置：

机架：SUS304

外壳：SUS304镜面板

药液管路：根据药液适配

槽材质：SUS316L  2mm

水槽材质：PPN 10T

纯水管路：Cl-PVC

排气：SUS304

工艺槽功能：加热+循环过滤+抛动+超声

水槽功能：喷淋+溢流+鼓泡+快排

机械臂：SUS316

控制方式：PLC+触控屏（或PC+触控）

质保：12个月

槽体功能详细介绍：

工艺碱超声槽

² 槽体尺寸：设计确认

² 溶液：碱性洗剂

² 工艺温度：RT -80±2℃ 

² 槽材质：SUS316L折弯焊接加工而成，槽底倾斜设计，加热溢流循环超声结构；

² 加热方式：通过式加热；加热器不放置于槽底，采用专用器件悬挂于外壁两侧，间接加热药液。槽底无加热器，若采用槽底加热器将会对超声效果有影响；

² 循环：溢流出的溶液通过泵从底部注入工作槽（循环管路中设置有过滤装置，过滤精度0.5um），使得药液温度更加均衡，保持工艺的稳定性。循环泵采用进不锈钢泵；

² 上液方式：自动供液；设备后部设有自动供液装置一个泵对应两个桶；共两种洗剂；其中1#和2#洗剂相同；

² 槽体内设置氮气液位传感器，分别为低、中、高液位；低于低液位报警防止无液干烧；中与高液位之间为工作液位，低于中液位自动补液，高于高液位黄灯亮警示操作人员；高于高液位声光报警，漏液警报；

² 超声方式：进口超声系统，功率可调；

² 计时功能：按下“开始”按钮，倒叙计时，可在触摸屏上直观显示工艺时间。设定精度1s。

² 排液方式：自动重力排放，排液口增加过滤装置

² 槽盖：配置有不锈钢自动槽盖

QDR槽

² 清洗液：DIW

² 槽体尺寸：设计确认 

² 槽体材质：德国进口10mmNPP板焊接而成

² 药液温度：RT

² 供水方式：自动,流量压力可调

² 排放方式：快排，直排至厂务。

² 注水时间＜30S，排放时间≤5S

² 槽体形状 : 方形V 型四边溢流，喷嘴约往槽体45°倾斜，充分清洗硅片；槽体下方配有缓冲槽，废水先排至缓冲槽后在进行排放

² 工艺流程：放入工件→开始喷淋,同时快排阀打开→底部注水，同时快排阀关闭，氮气鼓泡打开→溢流漂洗＋氮气鼓泡→快排阀打开，快速排放，一次冲洗快排工艺结束

² 工艺时间：1～9999秒可设定。循环冲洗次数、时间等可在触摸屏上进行设定并声光报警提示

² 上水流量、压力可调

² 排放口设有滤网防止物件堵塞管路；排放管路设置废水回收管路；

               ² 槽体底部设有匀流板