PEPS II TMC主动空气隔振调平系统
参考价 | ¥50000-¥200000/件 |
- 公司名称 努美(北京)科技有限公司
- 品牌TMC
- 型号PEPS II
- 所在地北京市
- 厂商性质生产厂家
- 更新时间2024/5/22 19:49:44
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
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应用领域 | 环保,电子,航天,制药,综合 |
TMC主动空气隔振调平系统PEPS II
PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密电子定位系统)基础上并对其进行了改进。通过添加新的数字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,还有一个改进的用户界面。PEPS II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。这种系统通常包括机械高度阀和机械高度传感连杆。其应用包括需要改善稳定时间和提高产量的半导体制造设备以及需要最佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。
TMC主动空气隔振调平系统PEPS II特点
●数字控制,用户友好的LCD界面
●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系统的非接触式电动气动高度控制
●Z轴位置重现性:10微米
●由于消除了传统机械高度控制系统的杠杆接触点,从而改善了隔振效果
●气动前馈功能最大限度地减少了Z轴对X-Y平台运动的反应
●可以调整以快速稳定由X-Y平台引起的运动
●可选的“VX”功能集成了惯性传感器,用于主动阻尼垂直隔振器共振
●与“软坞站”兼容。允许在没有运动安装的情况下加载/卸载晶圆
●相称的电子阀门。“开关”或传统电子阀不会产生脉冲噪声
●排气管用于废气的清洁处理
●逻辑停靠控制和状态
规格
物理尺寸 | PEPS II控制器 1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)宽 x 9.4英寸(240 mm)深 | |
重量 | PEPS II控制器:约3.0磅(1.2千克) | |
环境 | 仅限室内使用,最高2,000米海拔(6560英尺) | |
电源要求 | 电源输入电压范围:90-230 VAC | |
PEPS II用户界面 | 电源开关 | |
PEPS II 界面 | 带EMI滤波器的交流电源输入 | |
PEPS II | 模拟输入(单极):8 x 12位(16位使用过采样),0 ... 3.0 V满量程 | |
气动规格 | 长期高度稳定性:±50微米 |
性能