| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,能源,电子,电气,综合 |
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日本okksg半导体电子元件全自动UV紫外黑光 FBUV-系列 特点介绍
黑光规格的全自动UV照射机是自动取出卡匣供给的晶圆框，照射
UV光并进行保管的装置。切割后，紫外线照射会降低胶带的粘合强度，使其更容易拾取。
兼容 8 英寸和 12 英寸晶圆框架，可自动更换设置。
盒式装置可实现全自动照射。
旋转转盘可实现均匀一致的紫外线照射。
多种UV照射条件（时间设定或累积光强度设定）
在触摸屏上实时显示紫外线照度。
由于黑光规格，功耗较低。
兼容8英寸/12英寸磁带。（可以通过触摸面板自动完成设置更改）
日本okksg半导体电子元件全自动UV紫外黑光 FBUV-系列 规格参数
盒式装置可实现全自动照射。
旋转转盘可实现均匀一致的紫外线照射。
多种UV照射条件（时间设定或累积光强度设定）
在触摸屏上实时显示紫外线照度。
由于黑光规格，功耗较低。
兼容8英寸/12英寸磁带。（可以通过触摸面板自动完成设置更改）
尺寸宽770×深1090×高1200（毫米）
重量约250公斤
驾驶空气0.4～0.5Mpa 65L/min
紫外线照度9mW/cm²以上
氮气0.4～0.5Mpa 100L/min
电源AC100V 50/60Hz 30A
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