6517B 高阻表

主要特点
测量高达 1018 Ω的电阻
10 aA (10×10-18 A) 电流测量分辨率
6517B、8009 电阻率测试夹具和 KickStart 高电阻率应用相结合，为 ASTM D257 高电阻率测量提供完整的硬件和软件解决方案
<3 fA 输入偏置电流
6 位半高准确度测量模式
电流范围上 <20μV 压降
高达 200 V 电压测量，>200Ω 输入阻抗
内置 ±1000 V 电压源
高阻测量交换电极电压源和测量方法
内置测试序列，支持四种不同器件表征测试、表面和体电阻率、表面绝缘电阻和电压扫描
选配插入式扫描卡，可使用一个测试设置测试最多 10个器件或材料样本
GPIB 和 RS-232 接口
杰出的性能指标
6517B 把吉时利数十年的弱电测量技术知识融汇到创新的低电流输入放大器中，输入偏置电流 <3 fA，噪声仅 0.75fA p-p，电流范围上压降 <20 μV。对近似理想的电路 负荷，电压电路输入阻抗超过 200 TΩ。这些指标保证了所需的准确度和灵敏度，可以在物理、光学、纳米科技和材料科学等领域准确地进行低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测 量。内置 ±1 kV 电压源拥有扫描功能，简化了绝缘材料上的漏流、击穿和电阻测试及体电阻率 (W-cm) 和表面电阻率(W/square) 测量工作。

宽测量范围
6517B 在电流、电阻、电压和电荷测量量程的整个频宽上提供了自动量程功能。6517B 融合了以下测量功能：

超灵敏电流表，可测量 10 aA ~ 20 mA 电流
阻抗的电压表，可测量 1mV ~ 200 V 电压
超高范围电阻表，可测量 1Ω ~ 1018 Ω 电阻
灵敏的电量计，可测量 1 fC ~ 2μC 电荷