UTA系列 日本armssystem无掩模曝光高分辨率显微镜

日本armssystem无掩模曝光高分辨率显微镜 UTA系列 特点介绍

我们的“无掩模曝光设备/显微镜 LED 曝光装置 UTA 系列”被用于主要由名古屋大学的 Minoru Osada 教授进行的一些研究。

・显微镜LED曝光装置UTA系列是无需掩模的光刻用图案投影曝光装置。（无掩模曝光设备）

・使用金相显微镜和带LED光源的DLP投影仪，将分辨率为数微米的任意图案投影到涂有抗蚀剂的基板上并进行曝光。

- 可以在计算机上自由创建图案。

・它比电子束光刻便宜得多，也更简单，因为电极可以在大气中形成在各种尺寸和形状的层状材料的单晶薄片上。无需创建昂贵的电极图案掩模。（如果几微米的分辨率就足够了）

日本armssystem无掩模曝光高分辨率显微镜 UTA系列 规格参数

薄膜 FET 和霍尔效应测量样品的电极形成

形成电极以去除石墨烯/钼原石上的薄片并评估原石的特性

研发应用模式形成

由于它结合了显微镜和 DLP，因此可以比现有的无掩模曝光设备以更低的成本构建系统。

易于使用的专用软件可让您轻松创建曝光图案

物镜的放大倍率可以实现从微小图案到大范围的批量曝光。

也可以将其连接到您自己的金相显微镜上（根据条件）

分辨率也可以达到数微米（数微米图案成型）。