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TMS-2000 其他设备晶圆测试仪

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深圳市嘉惠捷科技有限公司基于对国内测试仪器市场具体需求状况和、国内仪器行业发展趋势的掌握,依托国外稳定的货源渠道。专注于国内电子测试仪器、通信仪器、微波仪器、高频仪器、光纤通信仪器等进口二手测试仪器的销售、租赁、回收、维修、校正等业务。
公司现货供应惠普(安捷伦)、泰克、安立、爱得万、横河、安腾、力科、马可尼(IFR)、R&S等世界之频谱分析仪、网络分析仪、无线综合测试仪、逻辑分析仪、阻抗分析仪、信号源、信号发生器、信号分析仪、中高档示波器、频率计、电子与负载等电子通用测试仪器及误码仪、眼图仪、光谱分析仪、光时域反射仪(OTDR)、可调谐激光源、光功率计、光衰减器等光纤通信仪器。 仪器品种繁多,并可提供计量合格证书及壹年保修、终身维护的售后服务。
我公司大量回收闲置二手仪器仪表设备,全部现款交易;对外承接高档测试仪器仪表的维修和校正服务。
经营范围:二手测试仪器的销售、租赁、维修、检测。销售、维修系列环境实验设备。销售全新系列品牌测试仪器。

 

网络分析仪、无线综合测试仪、逻辑分析仪、阻抗分析仪、信号源、信号发生器、信号分析仪、中高档示波器

价格区间 50万-80万 应用领域 电子,综合

圣德科 TMS-2000 晶圆测试仪

产品概述:
Santec 的新系统 TMS-2000 为半导体晶圆厚度的高精度亚纳米映射带来了新的动态。TMS-2000 采用一种新型激光扫描方法,以前从未在业界用于晶圆映射,为行业提供了多项优势;对温度变化不敏感的精确厚度测量,一个系统不仅可以测量单层硅,还可以测量碳化硅和氮化镓等功率半导体,以及SOI等多层晶圆,其成本点对于在生产中的广泛部署具有吸引力。随着半导体器件尺寸的减小,光刻工艺的公差变得更细,提高了晶圆厚度和场地平面度测量的高精度的重要性。对于非接触式亚纳米重复性测量,业界一直依赖外差干涉或Fizeau条纹分析系统,这些系统在普遍采用方面存在一些缺点。这些目前的解决方案需要正面和背面晶圆照明,对温度变化和振动敏感,并且复杂性和成本高。Santec TMS-2000 解决了当前解决方案中发现的所有问题。
 
特征:
精度高:使用干涉检测技术进行高精度测量(1nm重复精度)
行业标准参数:可以分析全局(GFLR、GFLD、GBIR)、站点(SFQR、SFQD、SBIR)、边缘(ESFQR)
高耐环境性:由于环境耐久性,不需要温度控制或振动对策
紧凑的尺寸:小尺寸,适合多种应用
高速:螺旋扫描(高速、高密度)
 
优势:
晶圆厚度测量系统,可测量晶圆的平整度,重复精度高达1nm。
测量准确,对温度变化和振动不敏感
亚纳米厚度重复性
具有可定制扫描图案的完整晶圆映射
单面照明
晶圆与晶圆之间的比较
适用于重掺杂硅以及功率半导体和多层晶圆
测量符合SEMI标准
与传统解决方案相比,具有成本优势




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