韩国ECOPIA真空快速退火炉RTP-1300，RTA

Ecopia快速退火炉（4~6英寸）

产地：韩国Ecopia；

型号：RTP-1300/RTP-1600；

RTP-1300, RTP-1600为Ecopia进口真空快速退火炉，仪器带有控制软件，为台式设计。

RT-1300可以退火100mmX100mm尺寸的样品，RTP-1600可以退火150mmX150mm尺寸的样品。

技术规格：

- 加热方式：红外卤素钨灯，1.2KW/支；
- 卤素红外灯数量：12支，或18支；

- 升温速率：100℃/秒；

- 降温速率：60秒(1000℃ → 400℃)；

- 温度：1200℃；

- 温度精度：+/-1℃

- 样品尺寸：100 X 100mm, 或150mm X 150mm；

- 退火环境：真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢气等)；

- 真空泵及极限压力：机械泵，10-3Torr水平(选配)；

- 电压：220 V，单相或三相；

- 仪器尺寸：500 X 400 X 500mm (W X D X H)；

- 质量：净重60Kg；

仪器特点：

- 可在真空/不同气氛/空气不同环境下，对样品进行快速热处理；

- 温控精度高；

- 适合高校或研究所科研使用；

- 带有RTP控制软件；

- 紧凑的台式设计；

- 仪器操作方便，样片装取容易；

- 价格合理，高性价比；

应用领域：

- 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);

- 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);

- 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);

- 硅化 (Silicidation);

- 扩散 (Diffusion);

- 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);

- 离子注入后退火 (Implant Annealing);

- 电极合金化 (Contact Alloying);

- 晶化和致密化 (Crystallization and Densification);

- 合金熔点分析；

- 薄膜沉积；

等等…

RTP-1300快速退火炉参考用户：

北京师范大学、北京理工大学、昆明理工大学、东南大学、西安交通大学、渤海大学、中科院苏州纳米所、国电光伏、苏州新磊等...