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化工仪器网>产品展厅>物理特性分析仪器>表面/界面性能测定仪>开尔文探针系统> 英国KP开尔文探针WF

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英国KP开尔文探针WF

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开尔文功函数KP

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昱臣半导体技术(香港)有限公司是专业的半导体及微电子领域仪器设备供应商,昱臣半导体技术(香港)有限公司所代理的仪器设备广泛用于高校、研究所、半导体企业。

昱臣半导体技术(香港)有限公司目前代理的主要产品包括:

- 霍尔效应测试仪(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火炉(RTP);

- 回流焊炉,真空烧结炉(Reflow Solder System);

- 探针台(Probe Station),低温探针台(Cryogenic Probe Station);

- 贴片机(Die Bonder),划片机(Scriber),球焊机/锲焊机(Wire Bonder);

- 原子层沉积系统(ALD),等离子增强原子层沉积设备(PEALD);

- 磁控溅射镀膜机(Sputter),电子束蒸发镀膜机(E-beam Evaporator),热蒸发镀膜机(Thermal Evaporator),脉冲激光沉积系统(PLD) ;

- 低压化学气相沉积系统(LPCVD),等离子增强化学气相沉积系统(PECVD),快速热化学气相沉积系统(RTCVD);

- 反应离子刻蚀机(RIE),ICP刻蚀机,等离子体刻蚀机;

- 致冷机/低温恒温器(Cryostat/Cryocooler);

- 加热台、热板、烤胶台 (Hot Chuck / Hot Plate);

- 扫描开尔文探针系统(Kelvin Probe),光反射膜厚仪(Reflectometer);

- 高温超导磁体(HTS Magnet),快速场循环核磁共振弛豫测试仪(FFC Reflexometer);






原子层沉积系统,快速退火炉,PECVD,刻蚀机

产地类别 进口 应用领域 化工,电子,综合

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置,用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。

材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定,所以开尔文探针是的表面分析技术。

我们的开尔文探针系统包括:

□   单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境);

□   扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境);

□   超高真空(UHV)开尔文探针;

□   湿度控制的腐蚀开尔文探针;


 

扫描开尔文探针系统 (ASKP)

    ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收扫描开尔文探针系统,它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置,其规格如下:

□    2毫米,50微米探针;

□    功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖),5-10 meV(50微米针尖);

□    针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内;

□    表面势和样品形貌3维地图;

□    探针扫描或样品扫描选配;

□    彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置;

□    参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌);

□    备用的针尖放大器;

□    24个月超长质保期;




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