BPG552 ATM至超高真空双真空计

优势
1，双测量仪（2 个传感元件），测量范围宽，降低成本，节省空间
2，用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝
3，皮拉尼互锁保护，避免灯丝过早烧毁
4，自动高真空皮拉尼调节，减少操作员干预
5，电隔离电子元件，避免杂散电流
6，滑动排放模式，避免切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象
7，可移动的校准数据芯片延长了烘烤时间
8，设定点继电器
9，明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
10，模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可与 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 BPG402

13，符合 RoHS 规范

典型应用
半导体工艺中的压力测量
工业镀膜
低真空到超高真空范围内系统的一般真空测量和控制 超高真空范围

测量范围（空气、O2、CO、N2） 5 × 10-10 … 1000 mbar

准确性   1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar  读数的 ±15
             1 x 10-2 mbar … 1000 mbar   读数的 ±30
重复性 读数的 5%，10-8 ... 10-2 毫巴（稳定 10 分钟后）
暴露在真空中的材料 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨

BPG552 ATM至超高真空双真空计