蔡司 GeminiSEM系列场发射扫描电子显微镜

GeminiSEM系列：高分辨，不挑样

长久以来，蔡司 GeminiSEM系列场发射扫描电子显微镜一直是高分辨力与宽样品适用性的代名词。无论您从事的研究方向是什么，GeminiSEM都可以满足您的需求。创新的电子光学系统和新型样品腔室设计可让您拥有更佳的图像质量、易用性和灵活性。

蔡司 GeminiSEM系列场发射扫描电子显微镜兼具出色的成像和分析能力，不依靠浸没式物镜依然可以轻松实现1 kV以下的亚纳米级分辨力。以下内容可以使您进一步了解Gemini电子光学系统的三大设计，探索蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM的应用潜能。

不导电矿物断裂表面的纳米级特征

·       更灵活的成像工具 – 配备Gemini 1镜筒的蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 360可以实现各种样品的高分辨成像、分析和各种应用需求的拓展。

·       更强大的分析能力 - 配备Gemini 2镜筒的蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 460可应对更加复杂的分析工作。连续可调的大束流使您可以在成像和分析条件之间无缝切换。

·       更表征体验 - 蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 560配有Gemini 3镜筒及其新型电子光学引擎，让它在各种工作条件下均可发挥该系列出色的分辨率特性。

（一）、产品优势

产品系列：了解三种型号的所有详情，选择符合您应用需求的一款。

1、蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 360
蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 360，它是中心实验室的得力助手，在科研和工业领域中具有高通用性。

（1） 灵活的样品适用性

·       场发射扫描电镜GeminiSEM 360是中心实验室的理想选择，在科研和工业中具有非常高的通用性。

·       产品搭载Gemini 1镜筒，在低电压下依然具有高分辨成像能力，让您轻松获取样品极表面高分辨信息。

·       通过镜筒内二次电子和背散射电子同时成像，即使对于电子束敏感样品也可以获取高分辨的表面形貌和成分衬度。

·       在低真空下（NanoVP）拍摄不导电样品时，依然可以通过镜筒内Inlens探头获得优异衬度：无荷电高分辨。

两个平行设计的镜筒内探测器为样品表征提供更全面的信息

（2）出色的用户体验

·       场发射扫描电镜GeminiSEM 360可提供出色的用户体验：该产品具有广阔的视野范围和大体积腔室，可以轻松检测大尺寸样品。

·       利用蔡司ZEN Connect软件可在多种显微镜（例如光镜、电镜、X射线显微镜）之间进行无缝导航。

·       使用蔡司自动对焦和智能探测器等自动功能轻松采集清晰、锐利的图像。

·       具有对称的EDS端口和共面的EDS / EBSD几何设计，可高效执行成像和分析工作流程。

·       可有效延长系统正常运行时间，并让您从容地进行计划内维护。

多功能的样品腔室满足您不同应用需求的个性化配置。

（3）优异的功能扩展性

·       可升级的系统可有效减少重复投资。因此，我们将场发射扫描电镜GeminiSEM 360融入蔡司ZEN core软件生态系统中。

·       ZEN软件生态系统包括：ZEN Connect可关联多仪器、多尺度数据；ZEN Intellesis是基于AI的自动分析工具； ZEN数据存储功能可以让您在一个数据中心节点上管理不同仪器的实验数据。

·       可访问作为APEER社区成员的其他用户创建的工作流和脚本，帮助您解决难题。

·       .明确的升级路径帮助您的设备更好地升级新的功能。

ZEN Connect将多种表征手段的数据进行整合，获取样品全面信息。

2、蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 460

蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 460，具有更强大的分析能力，可进行高效分析和自动化的工作流程。

（1） 利用高分辨率和大束流

·       场发射扫描电镜GeminiSEM 460专为有挑战性的分析任务而设计，可进行高效分析和自动的工作流程。

·       Gemini 2镜筒可快速执行高分辨成像和大束流分析：从小束流-低电压无缝切换到大束流-高电压。

·       并行使用多个探测器，提供样品的数据。

·       多接口腔室设计可兼容更多探测器，以进行高效分析。

·       使用新的VP模式在大束流下采集EBSD谱图可达4000点/秒的标定率。

·       对于化学成分和晶体取向的分析，具有两个对称的EDS端口和共面的EDS/EBSD几何学设计，可实现更快速度且无阴影的面分析结果。

帮助您快速分析的同时兼顾大束流和高分辨。

（2） 定制化的自动化工作流程

·       强大的分析功能与自动化流程相结合，让您的分析工作更进一步。并且蔡司还可以通过Python脚本来定制您自己的自动化实验。

·       修改实验过程并根据您的要求定制结果输出。

·       STEM三维成像功能：将自动倾斜和旋转与蔡司特征点跟踪相结合。将所有自动对齐的图像发送到专有的3D重构软件后，生成具有纳米级分辨率的3D形貌。

·       当您需要测试材料的加工特性时，蔡司将为您提供自动化的原位加热和拉伸实验平台：它可以让您自动观察在加热和拉伸条件下的材料，同时动态绘制应力-应变曲线。

多功能的样品腔室满足您不同应用需求的个性化配置。

（3） 为您带来更多可能性

·       基于Gemini 2镜筒设计，即使在低电压时，也可以通过调高束流密度来提高分析能力。

·       能够使系统与各种配件相兼容。多功能型腔室不仅可以配置分析附件，还可以配置原位台、冷冻传输系统和纳米探针。

·       .因此，您可以随时对仪器进行配置更改和升级。

·       所有GeminiSEM均已融入蔡司ZEN core生态系统，您可以利用ZEN Connect、ZEN Intellesis和ZEN分析模块，以获取报告和GxP工作流程。

让您的场发射扫描电镜GeminiSEM 460成为原位实验室。

3、蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 560

蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 560：表征体验，让您轻松对困难样品进行1 kV以下的高分辨、无畸变成像。

（1） 表面成像的新标准

·       场发射扫描电镜GeminiSEM 560全面提升你的电镜体验，即使在1kV以下也可以很轻松地对电子束敏感的样品进行无畸变高分辨的成像。

·       Gemini 3镜筒搭载Nano-twin物镜和新型电子光学引擎Smart Autopilot，可在1 kV以下对样品进行1 nm以下分辨率的无漏磁成像-无需样品台偏压或单色器。

·       通过新的可变气压模式和检测系统对不导电及气压敏感的样品进行成像：将真空敏感样本通过低真空样品交换室进入电镜腔室，可以维持样品最本征的结构后快速成像。

·       利用带双EDS接口的新型大型腔室，轻松分析复杂样品。通过优化的探测器几何设计确保快速、无阴影的图像。

在低电压下表征不导电矿物颗粒的表面：GeminiSEM 560，800 V, Inlens SE。

（2） 融合专业知识

·       新的电子光学引擎Smart Autopilot可全面提升对高难度样品的成像体验。

·       新系统的大视野功能可让您轻松进行样品导航。

·       Smart Autopilot可让您节省时间，同时避免进行复杂的的光路对中：该引擎可自动调整光路，让图像从一倍放大至五十万倍时始终保持光路对中聚焦良好的状态。

·       Smart Autopilot包含蔡司自动对焦和自动光路对中功能，可在几秒内为您提供清晰、锐利的图像。

·       Python脚本能够在自动化工作流程（例如3D STEM断层成像）中集成软件功能。

CeO2纳米颗粒的3D STEM成像。GeminiSEM 560，aSTEM，明场像，30 kV。

（3） 体验出色的衬度

·       样品拍摄中的成像条件，意味着您结合了参数组合来获得的图像：所以拍图诀窍就是找到它。

·       Gemini镜筒技术及其无漏磁成像技术和全新的Gemini 3镜筒可使您找到这些成像条件，并从样品中发现新的信息。

·       场发射扫描电镜GeminiSEM 560可以轻松拍摄磁畴衬度，它在样品上的磁场小于2 mT。

·       使用带能量过滤器的Inlens背散射探测器进行能量分辨背散射电子成像，同时通过环形背散射探测器进行角分辨背散射电子成像。

·       通过ZEN Connect对所有数据进行整合，轻松生成报告。

成像条件：钕铁硼磁铁的磁畴衬度

（二）、洞悉产品背后的科技----Gemini电子光学系统

1、 Gemini 1：经典传承

场发射扫描电镜可实现高分辨成像离不开其性能优异的电子光学镜筒。Gemini可在任意样品上展现出色的成像分辨力，尤其是在低加速电压下仍可轻松实现高分辨成像。

Gemini镜筒具有以下三个主要特点：

·       Gemini物镜的设计结合了静电透镜和磁透镜，在提高其电子光学性能的同时将它们对样品的影响降至更低。即使对具挑战的样品（例如磁性材料）也能进行高品质成像。

·       Gemini beam booster技术具有镜筒内的电子加减速功能，可确保获得小束斑和高信噪比；

·       Gemini 镜筒内探测器的设计可实现信号的高效采集，实现二次电子（SE）和背散射电子（BSE）同时成像，有效缩短了成像时间。

为您的应用带来以下便利：

·       经校准后的SEM具有长期的稳定性，您在使用时只需要简易地设定各项系统参数，如束流和加速电压等。

·       无漏磁的透镜设计，可实现无畸变的高分辨成像。

·       镜筒内二次电子探测器具有高效的SE 1信号采集效率，给您呈现来自样品极表面的真实形貌图像；

·       镜筒内背散射探测器设计理念使您在极低电压下也可获得真实的成分衬度图像。

2、 Gemini 2：分析利器

要获取样品更加完整的信息，扫描电子显微镜必须在成像和分析方面都具备优异的性能，同时能给用户简单易用的操作体验。

Gemini 2镜筒可满足您的以下需求：

·       场发射扫描电镜GeminiSEM 460配有双聚光镜的Gemini 2镜筒

·       在确保获得出色的小束斑的同时，束流连续可调

·       可在小束流的高分辨成像与大束流的分析模式之间进行无缝切换

·       调整拍摄参数后无需对电子束进行重新对中，节省您的时间和精力

·       操作灵活易用，大束流密度下的高分辨成像、小束流分析、大束流分析等各类不同的工作模式，一切由您而定

·       物镜无漏磁设计可以让您获得无畸变的EBSD花样，还可以在大视野范围内进行高分辨成像

·       倾斜样品时不影响电子光学性能。即使磁性样品也能轻松成像

·       选择适合样品的消荷电模式：局部电荷中和，腔室内可变气压或NanoVP

3、 Gemini 3：前沿

低电压，高分辨是场发射扫描电镜（FE-SEM）进化的方向。

（1） 这对于以下样品非常重要：

·       电子束敏感样品

·       不导电材料

·       获得真实的样品极表面信息，而不会有来自样品深层中的背景信号

Gemini 3光路设计针对低电压和极低电压下的分辨力以及衬度增强进行了优化，可确保在从1 kV到30 kV的所有工作条件下获得优异分辨力。Gemini 3镜筒拥有两个可协同工作的组件：Nano-twin透镜和新型电子光学引擎Smart Autopilot。其他技术特征包括高分辨力模式和可选的样品台减速模式。

（2） Nano-twin透镜：

·       低电压和超低电压下的亚纳米分辨力成像，具有出色的信号检测效率

·       低电压下的像差是传统Gemini物镜的三分之一——施加在样品上的磁场也是传统Gemini物镜的三分之一，约为1 mT

·       优化的几何设计以及静电和磁场分布

·       低电压成像条件下增强的镜筒内探测器的信号

这些特点为1 kV以下的亚纳米成像提供了可能，而无需将样品浸入电磁场中。

（3） Smart Autopilot
Smart Autopilot与Nano-twin透镜结合使用，可为您带来以下优势：

·       通过聚光镜优化所有工作条件下的电子束会聚角，可在任意电压下获得优异分辨率

·       通过新的大视野概览模式实现样品导航与高分辨成像之间的无缝过渡