VTC-100PAH真空旋转涂膜机
- 公司名称 沈阳科晶自动化设备有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/2/13 10:33:59
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产地类别 | 国产 |
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产品简介
VTC-100PAH真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAH真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机,采用了优良的设计理念,配合精密的运动控制系统,可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。设备腔体采用聚丙烯材质,具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空,工作时利用真空吸盘及气路管线与外部真空泵相连,能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上,此方式操作简便、样件取放自如,吸盘真空度可达到﹣0.08MPa。旋转主轴采用高速直流无刷电机,噪音低、振动小、运行更加平稳、可靠性高、适应性强、维修与保养简单,电机启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAH真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。
技术参数
产品名称 | VTC-100PAH真空旋转涂膜机 | ||
产品型号 | VTC-100PAH | ||
安装使用条件 | 1、温湿度:10-85%RH (at 25℃ 无凝露) 温度:0-45℃。 2、设备周围无强烈震源和腐蚀气体。 水源 无此需求 3、电源:AC100-240V 50/60Hz 国标三极插座 10A 必须有良好接地 4、气源:真空负压(真空泵):抽气流量不小于 70L/M 5、工作台:建议 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固体水泥台为佳) 6、通风装置:无特殊要求 | ||
技术参数 | 1、设备供电:DC24V 标配适配器:IN AC100-240V 50/60Hz OUT DC24V 15A 2、总功率:150W(不含外接真空泵) 3、主机腔体(材质):聚丙烯+亚格力 4、载样盘(吸盘):2英寸、 4英寸各一个 5、运行程序:包含16个运行阶段 6、涂膜转速:1500-20000rpm有效(递增量为:100rpm为单位) 7、增加速率设置范围:100 rpm/s—6000 rpm/s 8、减速停车速率范围:100 rpm/s—3000 rpm/s 9、时间设定范围:1-99s(设定速度范围:1500至10000rpm); 1-60s(设定速度范围:大于10000至20000rpm) 10、真空接口:快插接头,采用φ8 PU管连接 11、操作控制方式:7寸触摸屏(人机界面) | ||
产品规格 | 重量:12kg 外形尺寸:250×340×320mm | ||
备注 | 设备随机标配“电源适配器”,其规格参数为:IN:AC100-240V 50/60Hz OUT:DC24V 15A,设备实际供电以产品后部标牌参数为准。 |
标准配件
序号 | 名称 | 数量 | 图片链接 |
1 | 真空吸盘(含O型圈)(2英寸和4英寸) | 2个 | ![]() |
2 | 滴液器 | 1个 | ![]() |
3 | 无油真空泵 | 1个 | ![]() |
4 | 适配器24V/15A | 1个 | ![]() |
可选配件
序号 | 名称 | 功能类别 | 图片链接 |
1 | 其它尺寸的真空吸盘 | (可选) | ![]() |
2 | 国产移液枪 | (可选) | ![]() |
3 | 进口移液枪 | (可选) | ![]() |