Sinton WCT-120:硅片寿命测试工具

Sinton WCT-120:硅片寿命测试工具提供了对载流子复合寿命进行校准分析的现有技术。遵从SEMI标准 PV-13。WCT-120 是放置在桌面上的硅片寿命测量系统，适用于器件研究和工业过程控制，价格实惠。WCT-120MX适用于测试230 mm的大硅片。

产品概述

WCT-120和WCT-120MX 仪器展示了我们的测量和分析技术，包括 sinton Instruments公司在 1994年开发的遵从 SEMI标准的准稳态光电导(QSSPC)寿命测量方法。

WCT-120仪器使用QSSPC和瞬态光电导衰减技术，可以测量10ns到10 ms+范围的硅片寿命。QSSPC 技术适用于监测多晶硅片、掺杂扩散及低寿命样品。瞬态光电导衰减技术适用于对高寿命样品的工艺进行逐步监控。

Sinton WCT-120:硅片寿命测试工具也会给出隐含开路电压(随光照强度变化的)曲线，相当于在电池工艺的每个阶段都能给出一条I-V曲线。

主要应用：

对制造工艺进行逐步监控和优化。

其他应用:

l 监测初始材料质量。

l 在硅片加工过程中检测重金属杂质污染。

l 评估表面钝化和发射极掺杂扩散。

l 使用隐含I-V测试，估算加工过程引起的并联电阻。

Sinton Instruments 的分析会给出每张硅片的校准的载流子注入水平，所以可以认为寿命数据在物理意义上是准确的。每次测试都会显示和记录用户所关注的特定参数。