DX-7系列晶棒及晶片角度测量仪

型 号

DX-7B

DX-7BG

主要特点

设备构造：设备分为落地式一体机。

外型尺寸： 1132 （长）× 642 （宽）× 1200（高） mm。

样式 1

样式 2

样式 3

功能

可测量晶棒的端面和柱面， 也可以测 量晶片。

带有六方型刻度贴片板， 可测量晶片端面

可测量晶片参考边

被测晶 体尺寸

2-6 寸晶棒、 长度 L≤320mm，

2-6 寸晶片。

2-6 寸晶棒、长度 L≤100mm，

2-6 寸晶片。

2-6 寸晶片。

工作台 图片

配套

夹具

①V 型夹具（测量晶棒端面时使用）

②底板（测量有参考面的晶棒端面时 使用）

无需夹具

无需夹具

工作台：以上是常见工作台，可根据客户需要， 任选以上 2 种样品台进行组合，也可以双侧一样，还可

以根据被测的晶体尺寸，及晶体被测方位来特殊设计。

设备精度

设备综合精度为±30″

（以供方提供的标准石英片 10ī1 面测量）

设备综合精度为±15″

（以供方提供的标准石英片 10ī1 面测量）

最小读数

10″

仪器配置

DX-7B 和 DX-7BG 型 X 射线单晶定向仪由机台、 管套及各种机械附件组成的机械部分； 由稳压器、控制器、 高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、 X 射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成。

技术指标

（1） X 射线发生器部分：

X 射线管：铜靶，风扇冷却，阳极接地。

管电压： 30KVP，全压合闸。

管电流： 0—5mA 连续可调， 使用 2.0mA 以上， 有可能损坏 X 光管并加大辐射危害。

（2）输入电源： 单相交流 220V，50Hz，整机总耗电功率不大于 0.3 KW 。

（3）角度测量范围：

2 θ角：－ 10～+110° θ角:-5～+55°。

衍射方式

单衍射

双衍射

放大系统

传统放大器

新型放大器

接收系统

计数管计数率为 104/秒

计数管计数率为 108/秒

（是普通系列的 1 万倍）

接收器寿命

1 年

3 年以上

X 光管寿命

按照国家标准 400 小时

（X 光管可以使用 3-4 个月）

是正常使用状况下的 2-3 倍

（X 光管至少可以使用一年）

X 管电流强度

1-1.5mA

0.5-1.0mA

测量和使用效果

X 光管使用 2-3 个月有可能出现多个假峰，影响 准确度。 需要经常更换 X 光管，影响生产效率。

可以滤掉 X 光管的杂峰，不存在假峰现象。 X 光管可 以使用 1 年左右，不需要频繁调整机器。

精度

精度±30 秒（或±0.008 度）

精度±15 秒（或±0.004 度）

辐射

测量时使用 mA 量越来越大，射线辐射量较大。

测量时使用 mA 量小，射线辐射量较小。