api激光干涉仪车床线性参数校准

api激光干涉仪车床线性参数校准

API激光干涉仪技术参数：

API激光干涉仪5D/6D标准型：

1. 线性：0.5ppm

2. 测量范围：40米（1D可选80米）

3. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值

4. zei大范围：800角秒

5. 滚动角精度：1.0角秒

6. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值

7. zei大范围：500um

8. 垂直度精度：1角秒

9. 温度：0.2摄氏度

10.湿度：5%

11.压力：1mmHg

API激光干涉仪5D/6D精密型：

1. 线性：0.2ppm

2. 测量范围：25米

3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%显示较大值

4. zei大范围：400角秒

5. 滚动角精度：0.5角秒

6. 直线度精度：（0.5+0.1/m）um或1%显示较大值

7. zei大范围：300um

8. 垂直度精度：0.5角秒

9. 温度：0.1摄氏度

10.湿度：3%

11.压力：0.3mmHg

API激光干涉仪5D/6D高精密型：

1. 线性：0.2ppm

2. 测量范围：根据用户要求而定

3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒

4. zei大范围：500角秒

5. 滚动角精度：0.5角秒

6. 直线度精度：（0.2+0.05/m）um

7. zei大范围：100um

8. 垂直度精度：0.5角秒

9. 温度：0.1摄氏度

10.湿度：3%

11.压力：0.3mmHg