傅里叶红外光谱仪

专业的研究级傅立叶变换红外光谱仪（氧碳分析仪），其创新技术和智能精巧的设计为新一代傅立叶变换红外光谱仪树立了标准。

傅立叶红外技术可以快速、灵敏、无损地分析硅材料中的碳、氧含量，因此它在硅材料质量控制领域被广泛接收和应用。

l 根据ASTM/SEMI MF1391标准，建立了室温硅中代位碳原子含量分析方法。

l 根据ASTM/SEMI MF1188标准，建立了室温硅中间隙氧含量分析方法。

l 可达检出限：＜400ppba

l 建议的样品特征：厚度0.5-2.5mm（平均约1.5mm），双面抛光，单晶或多晶型。

产品特点：

l  可选的平板电脑触控操作界面，有助于实现简单的工作流程

l  创新型MultiTect检测器技术，支持多达5个室温检测器

l  Transit测量通道，满足中红外透射快检需求

l  RockSolid准直干涉仪，让您能够轻松地更换分束器

l  FM技术，实现 6000 cm-1 到 80 cm-1中远红外谱区的一次性测量

l  可实现近红外、远红外和紫外/可见光光谱范围的轻松升级

l  3个输出与2个输入光束端口，可通过软件进行选择。若需要，还可提供第四个输出端

l  兼容VERTEX谱仪的所有附件外部模块