主要特点
QVWLI Pro 是一款复杂的高精度 3D 测量系统，在 QV 上配备了白光干涉仪。
可以根据 WLI 光学系统采集的 3D 数据进行 3D 表面纹理分析/3D 粗糙度分析。
可以根据 3D 数据测量高度处的尺寸和横截面形状。
配备频闪照明，可以执行高通量测量，同时缩短载物台稳定时间。
数字放大功能可进一步放大显示。
规格
| 符号 | QVW-H404P1L-E | QVW-H606P1L-E |
|---|---|---|
代码号 | 363-716-10 | 363-717-10 |
测量范围(XxYxZ)(mm) | 400×400×240 | 600×650×220 |
WLI图像常用测量范围(XxYxZ)(mm) | 315×400×240 | 515×650×220 |
测量精度 (μm)E UX /E UY,MPE | (0.8+2L/1000) | (0.8+2L/1000) |
测量精度 (μm)E UXY,MPE | (1.4+3L/1000) | (1.4+3L/1000) |
测量精度 (μm)E UZ,MPE | (1.5+2L/1000) | (1.5+2L/1000) |
观察装置 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、（数字变倍12x）系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、（数字变倍12x）系列 |
照明 垂直落射照明 | 白色LED | 白色LED |
照明 透射照明 | 白色LED | 白色LED |
照明环照明 | 白色LED | 白色LED |
照明WLI头_垂直落射照明 | 卤素 | 卤素 |
温度修正功能 | 自动温度补偿 | 自动温度补偿 |
使用气压(MPa) | 0.4 | 0.4 |
精度保证温度(℃) | 20±1 | 20±1 |
精度保证 温度变化(℃/H) | 0.5/1,1/24 | 0.5/1,1/24 |
测量对象最大装载质量（kg） | 二十五 | 35 |
机身质量（含安装支架）（kg） | 1205 | 2275 |
安装玻璃尺寸（毫米） | 493×551 | 697×758 |
机身外部尺寸（宽x深x高）（毫米） | 1426 x 1118 x 1381（不含突出物/不含专用安装支架） | 1994 x 1400 x 1572（不含突出物/不含专用安装支架） |
体重（公斤） | 540 | 1330 |
其他的 | 刻度分辨率：0.1μm测量精度 流（可选）（E1X、E1Y）：（1.5+3L/1000）μm测量精度（流（可选）（E2XY）：（2.0+4L/1000）μm保证精度的光学放大倍率：2.5倍物镜（QV-HR2.5x或QV-SL2.5x）+中倍镜筒透镜WLI重复性：2σ≤0.08㎛精度保证环境声压级：70㏈以下图像传感器：黑白CMOS数码相机 | 刻度分辨率：0.1μm测量精度 流（可选）（E1X、E1Y）：（1.5+3L/1000）μm测量精度（流（可选）（E2XY）：（2.0+4L/1000）μm保证精度的光学放大倍率：2.5倍物镜（QV-HR2.5x或QV-SL2.5x）+中倍镜筒透镜WLI重复性：2σ≤0.08㎛精度保证环境声压级：70㏈以下图像传感器：黑白CMOS数码相机 |
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