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化工仪器网>产品展厅>实验室常用设备>恒温/加热/干燥>马弗炉/电阻炉/实验炉>STGC-60-12 1200℃-PECVD管式炉系统

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STGC-60-12 1200℃-PECVD管式炉系统

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 河南三特炉业科技有限公司
  • 品牌 三特炉业
  • 型号 STGC-60-12
  • 产地 河南三特炉业科技有限公司
  • 厂商性质 生产厂家
  • 更新时间 2023/11/16 14:30:53
  • 访问次数 233

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河南三特炉业科技有限公司总部位于中国(洛阳)自由贸易区高新技术开发区青城路6号,在北京、上海、重庆、西安、成都、武汉、长沙、深圳设有业务分支机构,并全资控股“赛弗热(洛阳)热工技术有限公司”。公司通过ISO9001质量体系认证、欧盟TUVCE认证、SGS工厂认证;拥有自主知识产权五十余项,被授予“国家高新技术企业”、“国家科技型中小企业”、“专精特新中小企业”、“创新型中小企业”,“洛阳市难熔材料工艺烧结研发中心”、“洛阳市风口产业高新技术企业”等荣誉资质。提供300-1800℃电阻式加热设备,产品涵盖马弗炉、箱式气氛炉、管式电阻炉、热风循环炉、真空热处理炉等设备,还包括义齿炉、脱脂炉、网带炉、推板炉、升降炉、台车炉、熔炼炉等工业领域热处理设备及技术解决方案。

三特炉业经过十余年的发展。通过科学、严谨的管理体系,专业的行业技术实力,产品畅销欧洲、北美、亚洲、南美、非洲、大洋洲等一百二十多个国家,为国家重点高等院校、科研院所,以及新能源、新材料、晶圆半导体、功能陶瓷、光伏发电、玻璃光纤、磨料磨具、机械制造、军工、化工医药等众多工业领域提供热处理高温设备与技术服务。设备种类多、覆盖行业广,已构筑起集研发、制造、销售、技术服务为一体的现代化高新技术企业。“赛弗热®”、“SAFTherm®”品牌及产品系列受到国内外客户的高度赞誉和好评。

三特人秉持“诚信为本、客户为尊、创新为要、和谐共赢”的经营理念和“打造世界加热设备行业品牌”的企业愿景。在积极创新和勇于突破的过程中,不断满足客户的前瞻性需求,以跻身国内行业著名企业为目标,与合作伙伴和谐共生,提供好的服务与高品质产品!




马弗炉,高温炉,电阻炉,管式炉,箱式炉,真空炉,升降炉,工业炉

产地类别 国产 加热方式 电阻式
价格区间 面议 控温精度 ±1℃
升温速度(达到最高温) 90min 仪器种类 管式炉
应用领域 综合 最高温度 1200℃

 商品描述

【产品名称】1200℃-PECVD管式炉系统

【炉管尺寸】φ40--φ100mm

【加热区】300mm/440mm 

【额定温度】1200℃

【控温精度】±1℃ 

【应用领域】1200℃-PECVD管式炉系统(等离子增强化学气相沉积系统)由管式炉、真空获得、流量控制和射频电源四大模块组成,   本设备借助13.56Mhz的射频输出使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子的强化学活性,改善反应条件,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术,最终得到基片上沉积出所期望的薄膜。


性能特点:
CVD管式炉系统由
管式炉、真空获得、流量控制和射频电源

管式炉可选择不同的管径和恒温区的长度,炉管两端装有高真空不锈钢密封法兰;

真空获得系统可根据试验要求选择不同的真空泵,旋片式机械真空泵真空度≤5pa,分子泵真空机组真空度1×10-4pa;

气路供气系统可选择3路浮子手动和3路自动质量流量系统

真空测量数字复合真空机或皮拉尼真空计

等离子体放电选择13.56Mhz的设备电源,功率输出可选择200W、300W和500W

管式炉可选择单温区300mm和440mm,也可选择三温区或多温区进行温度的梯度试验

温控器内置的RS485数字通信端口和USB适配器作为可选配置,可连接PC,用于系统的远程控制和监视,还可以保存或导出测试结果。

产品符合欧盟CE标准。




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