VP-5ZA 精密垂直线性位移台

VP-5ZA 精密垂直线性位移台产品规格

• 行程范围
  4.8 mm
• 最小位移增量
  60 nm
• 最大速度
  5 mm/s
• 中心负载能力
  50 N
• 精度，典型值
  ±0.6 µm
• 精度，保证值
  ±1.5 µm
• 双向重复精度，典型值
  ±0.10 µm
• 双向重复精度，保证值
  ±0.25 µm
• 单向重复精度，典型值
  ±0.06 µm
• 单向重复精度，保证值
  ±0.15 µm
• 驱动螺距
  1 mm
• 减速轮
  5:1
• 编码器分辨率
  0.0196 µm
• 限位开关
  Optical
• 原点
  Optical, centered
• 原点重复精度
  ±0.1 µm
• 连接器
  DB25 Male
• 俯仰，典型值
  ±30 µrad
• 俯仰，保证值
  ±50 µrad
• 俯仰顺应性
  45 µrad/Nm
• 滚转，典型值
  ±30 µrad
• 滚转，保证值
  ±100 µrad
• 滚转顺应性
  50 µrad/Nm
• 偏摆，典型值
  ±30 µrad
• 偏摆，保证值
  ±50 µrad
• 偏摆顺应性
  10 µrad/Nm
• 电缆长度
  1.5 m
• 螺纹类型
  4-40 and 8-32 or M3 and M4 (M- version)
• 重量
  2.4 kg
• MTBF
  20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
• RoHS
  Compliant

VP-5ZA 精密垂直线性位移台特征

构建薄型 XYZ 平移台叠堆

超薄精密 XYZ 系统由两个VP-25XA 线性平移台和一个 VP-5ZA 垂直平移台组成。与传统平移台叠堆相比，该解决方案提供了一种超薄替代方案，可从任何方向轻松接近负载。

保持轴承上的有效载荷

VP-5ZA 的提升方法可实现有效载荷在轴承上定心，并靠近位置反馈。这样可以避免可引起角变形的任何悬臂负载，并产生具有更高载重能力的更精确的运动。

VP-5ZA平移台安装在ILS高性能中程行程线性平台的顶部，可选的VP-BP底板。

高效的倾斜平面设计

使用两个楔形的布置可产生纯垂直运动，两个楔形通过倾斜的循环滚珠轴承和两对垂直安装的双列线性滚珠轴承滑块移动通过彼此。

广泛的平移台兼容性

顶板上的螺纹孔图案提供了与VP-25X 线性平移台和其他 Newport 定位产品的兼容性。还提供用于晶片卡盘的标准 3 点安装接口。要将 VP-5ZA 安装到光学平台或ILS 线性平移台，请使用可选的VP-BP底座。可以使用平头螺丝刀方便地进行手动垂直调整。

高转矩直流电机

一种高效、高转矩直流电机，具有精密预装长使用寿命的滚珠丝杠，可确保高速运动并缩短稳定时间。高分辨率线性刻度直接连接到移动轨道，消除了所有传动系统引起的运动误差。此外，节省空间的固定读取头设计避免了任何电缆移动。结果是一个坚固耐用的平移台，MTBF 为 20000 小时。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for the VP-5ZA stage are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.

●SMC100CC Single Axis DC Motor Controller.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.